[实用新型]一种液晶显示器基板蚀刻浸泡装置

权利要求书

1、一种液晶显示器基板蚀刻浸泡装置，包括蚀刻浸泡装置的外槽(22)、内槽(32)、基板传输装置(36)、外槽内的液切风刀(40)、集液槽(42)和自动控制电路，其特征在于，在蚀刻浸泡装置外槽(22)内上方设有喷洒装置(36)，在内槽(32)的入/出口处设有刮刀(38)，在外槽的底部设有的排液孔(28)、注液/排液孔(34)，底部设有的排液孔(28)、注液/排液孔(34)分别通过集液管路(58)、注液/排液管路(56)连接供液压力调节管路和集液槽(42)。

2、根据权利要求1所述的液晶显示器基板蚀刻浸泡装置，其特征在于，所述的供液压力调节管路包括：

一集液槽(42)，集液槽(42)设有三个蚀刻液出入管路，分别连接加压泵(68)、自动控制阀(54)、三通阀(60)；

一喷洒管路(44)，一端连接喷洒装置(30)，另一端经供液自动控制阀(50)连接形成两通路，分别连接供液压力调节管路(48)与供液加压管路(46)，再经供液加压管路(46)连接至加压泵(68)；

一供液加压管路(46)，一端连接至喷洒管路(44)，另一端经供液控制阀(57)连接注液/排液管路(56)至该内/外槽体及经压力调节阀(52)、自动控制阀(54)连接集液槽(42)；

一供液压力调节管路(48)，一端连接至喷洒管路(44)，另一端装有压力调节阀(52)，压力调节阀(52)经自动控制阀(54)连接至集液槽(42)；

一注液/排液管路(56)，一端连接外槽(22)底部的注液/排液孔(34)，另一端连接两个回路，分别连接供液控制阀(57)与槽体回水控制自动阀(64)；经供液控制阀(57)还分别连接供液加压管路(46)与供液压力调节管路(48)，回水控制自动阀(64)后还接有一三通阀(60)；

一集液管路(58)，一端与的外槽(22)底部的排液孔(28)连接，另一端与三通阀(60)连接形成三个通路，第一路连接至注液/排液管路(56)，第二路连接至集液槽(42)，第三通路连接至稀释回水端(62)。

3、根据权利要求1所述的液晶显示器基板蚀刻浸泡装置，其特征在于，所述的内槽(32)为一箱体，箱体两端各设有一进出开孔，进出开孔处与外槽相同，并设有闸门。

4、根据权利要求2所述的液晶显示器基板蚀刻浸泡装置，其特征在于，所述的供液压力调节管路上设有自动控制单元。