[实用新型]用于硅片表面沉积反射膜的除尘刷盒无效
| 申请号： | 200820031193.7 | 申请日： | 2008-01-29 |
| 公开（公告）号： | CN201171054Y | 公开（公告）日： | 2008-12-24 |
| 发明（设计）人： | 陈海;聂志浩;都宏伟 | 申请（专利权）人： | 江阴浚鑫科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L31/18 | 分类号： | H01L31/18;H01L21/00;B08B1/02 |
| 代理公司： | 无锡市大为专利商标事务所 | 代理人： | 曹祖良 |
| 地址： | 214443江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型设计到一种硅片的生产技术，具体地说是一种用于硅片表面沉积反射膜的除尘刷盒。按照本实用新型提供的技术方案，在盒体内设置毛刷，该毛刷的根部被固定在盒体内的底部，毛刷的刷毛部分伸出盒体的外面。盒体包括底面及位于底面四周的侧面，毛刷的底部位于盒体的底面及侧面围成的空间内。在盒体的一个侧面上设置用于安装除尘刷盒的安装孔。本实用新型可以提高产品合格率与生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 硅片 表面 沉积 反射 除尘 | ||
【主权项】：
1、用于硅片表面沉积反射膜的除尘刷盒，其特征是：在盒体(4)内设置毛刷(3)，该毛刷(3)的根部被固定在盒体(4)内的底部，毛刷(3)的刷毛部分伸出盒体(4)的外面。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
