[实用新型]用于硅片表面沉积反射膜的除尘刷盒无效

申请号：	200820031193.7	申请日：	2008-01-29
公开（公告）号：	CN201171054Y	公开（公告）日：	2008-12-24
发明（设计）人：	陈海;聂志浩;都宏伟	申请（专利权）人：	江阴浚鑫科技有限公司
主分类号：	H01L31/18	分类号：	H01L31/18;H01L21/00;B08B1/02
代理公司：	无锡市大为专利商标事务所	代理人：	曹祖良
地址：	214443江***	国省代码：	江苏;32
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摘要：
搜索关键词：	用于硅片表面沉积反射除尘
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【权利要求书】：

1、用于硅片表面沉积反射膜的除尘刷盒，其特征是：在盒体(4)内设置毛刷(3)，该毛刷(3)的根部被固定在盒体(4)内的底部，毛刷(3)的刷毛部分伸出盒体(4)的外面。

2、如权利要求1所述用于硅片表面沉积反射膜的除尘刷盒，其特征是：盒体(4)包括底面及位于底面四周的侧面，毛刷(3)的底部位于盒体(4)的底面及侧面围成的空间内。

3、如权利要求1所述用于硅片表面沉积反射膜的除尘刷盒，其特征是：在盒体(4)的一个侧面上设置用于安装除尘刷盒的安装孔(1)。

4、如权利要求1所述用于硅片表面沉积反射膜的除尘刷盒，其特征是：在盒体(4)的一个侧面上设置向盒体外延伸的延伸部，该延伸部与该侧面位于同一个平面内，在该延伸部上设置用于安装除尘刷盒的安装孔(1)。

5、如权利要求1所述用于硅片表面沉积反射膜的除尘刷盒，其特征是：在盒体(4)内、毛刷(3)的旁边设置用于收集粉尘的收集腔。

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