[实用新型]高精度光刻胶分配泵

摘要

本实用新型涉及匀胶设备化学药品供应系统中的计量泵，具体为一种高精度光刻胶分配泵，解决在对需要精确控制化学药品的量的时候，普通的药液泵无法实现精确控制等问题。该分配泵的泵体为两端开口的圆形腔体，泵体结构为有内、外两个腔的结构；囊体的内腔中设有可伸缩的波纹管，波纹管连接部分一端安装于波纹管开口端内壁，波纹管连接部分的另一端连接动力部分，囊体的内腔与泵体的外腔相通。采用本实用新型使动力位移在转换成体积变化的时候比例缩小很大，动力的每一次较大的移动，体积只有很小的变化，从而间接控制化学药品的微量输出，适用于化学药品粘度在100cp以下的情况，对化学药品的量控制在0.1～5.0ml之间，精度可以控制在±0.02ml之内，重复精度为±0.02ml。

主权项

1、一种高精度光刻胶分配泵，其特征在于：该分配泵设有泵体、囊体和动力部分，泵体为两端开口的圆形腔体，泵体结构为有内、外两个腔的结构，泵体设有泵体外壁和可向内、外变形的泵体内壁，泵体内壁以内为泵体的内腔，泵体内壁与泵体外壁之间的空腔为泵体的外腔，泵体两端开口处设有入口单向阀和出口单向阀；囊体的内腔中设有可伸缩的波纹管，波纹管为一端封闭、一端开口的结构，波纹管连接部分一端安装于波纹管开口端内壁，波纹管连接部分的另一端连接动力部分，囊体的内腔与泵体的外腔相通。