[实用新型]高精度光刻胶分配泵

说明书

所属技术领域

本实用新型涉及匀胶设备化学药品供应系统中的计量泵，具体为一种高精度光刻胶分配泵。

背景技术

目前，半导体设备中使用的化学药品供应系统中的工艺泵主要采用隔膜泵，但隔膜泵对胶量无法实现高精密控制。在光刻胶成本很高的情况下，每片晶片在涂胶的时候需要的胶量是一定的，如果每一片晶片浪费1ml，就意味着半导体制造厂商每一年要在光刻胶上增加巨大的投入。在这种情况下，就需要对光刻胶的使用量进行精确的控制，减少不必要的浪费，降低成本。

实用新型内容

为了达到对光刻胶进行精确控制的目的，本实用新型提供一种高精度光刻胶分配泵，解决在对需要精确控制化学药品的量的时候，普通的药液泵无法实现精确控制等问题。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：

一种高精度光刻胶分配泵，该分配泵设有泵体、囊体和动力部分，泵体为两端开口的圆形腔体，泵体结构为有内、外两个腔的结构，泵体设有泵体外壁和可向内、外变形的泵体内壁，泵体内壁以内为泵体的内腔，泵体内壁与泵体外壁之间的空腔为泵体的外腔，泵体两端开口处设有入口单向阀和出口单向阀；囊体的内腔中设有可伸缩的波纹管，波纹管为一端封闭、一端开口的结构，波纹管连接部分一端安装于波纹管开口端内壁，波纹管连接部分的另一端连接动力部分，囊体的内腔与泵体的外腔相通。

所述的高精度光刻胶分配泵，泵体内壁为可以压缩和膨胀的薄壁结构，泵体外壁为刚性结构。

所述的高精度光刻胶分配泵，分别设置于泵体进口和出口的入口单向阀和出口单向阀为双层密封结构。

所述的高精度光刻胶分配泵，囊体的内腔中装有传递介质硅油，作为在波纹管和泵体之间的体积变化的传递介质。

所述的高精度光刻胶分配泵，囊体上设置用于检测囊体的内腔压力的压力传感器。

所述的高精度光刻胶分配泵，波纹管的波纹形状为等边三角形。

所述的高精度光刻胶分配泵，动力部分为安装于壳体内的滚珠丝杠、步进电机、同步带轮、同步带构成，滚珠丝杠、步进电机上分别安装同步带轮，同步带轮之间通过同步带连接。

本实用新型的有益效果是：

1、本实用新型高精度光刻胶分配泵，能准确的控制光刻胶的吐出量，减少各种光刻胶尤其是昂贵的光刻胶的浪费，减少企业的投入。

2、本实用新型高精度光刻胶分配泵，具有很强的耐腐蚀性能，这就使得这种泵能适应很多需要精确控制化学药品用量的场合。

3、本实用新型高精度光刻胶分配泵，体积小，几乎没有噪音和震动，可以使用于各种自动和半自动匀胶设备中。

4、本实用新型高精度光刻胶分配泵，采用特殊的波纹管结构，在波纹管压缩和伸长的时候，其外围体积变化随着压缩或拉伸的距离均匀变化，并且在较大的位移的情况下，需要使得外围体积的变化尽可能的小。在保证波纹管形状的基础上，调整结构，使波纹管的寿命尽可能的长。

5、本实用新型高精度光刻胶分配泵，能精确的通过体积变化来抽取和吐出光刻胶的泵体结构，采用PFA的薄壁管为内腔，PTFE为外腔的结构，把PFA薄壁管焊接在PTFE外腔结构件上，使得泵体内腔的形状变化均匀，提高泵体的使用寿命和吐胶精度。

6、本实用新型高精度光刻胶分配泵，可以精确传递体积变化的介质，介质需要使用流动性好，且压缩比小的液体，这样才能使波纹管外腔的体积变化以接近1:1的比例传递到泵体内腔上去。由于硅油的压缩比低，热变形小，选用硅油作为传递介质。

7、本实用新型高精度光刻胶分配泵，使动力位移在转换成体积变化的时候比例缩小很大，动力的每一次较大的移动，体积只有很小的变化，从而间接控制化学药品的微量输出。本实用新型适用于化学药品粘度在100cp以下的情况，可以对化学药品的量控制在0.1～5.0ml之间，精度可以控制在±0.02ml之内，吐出量的重复精度为±0.02ml。

附图说明

图1是本实用新型的原理示意图。

图2是本实用新型的结构示意图。

图中，1、入口单向阀；2、泵体外壁；3、向内变形后的泵体内壁；4、泵体内壁；5、向外变形后的泵体内壁；6、出口单向阀；7、波纹管；8囊体；9、压力传感器；10、波纹管连接部分；11、滚珠丝杠；12、步进电机；13、同步带轮；14、壳体；15、同步带。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。

如图1所示，本实用新型高精度光刻胶分配泵的原理如下：