[实用新型]高精度光刻胶分配泵

权利要求书

1、一种高精度光刻胶分配泵，其特征在于：该分配泵设有泵体、囊体和动力部分，泵体为两端开口的圆形腔体，泵体结构为有内、外两个腔的结构，泵体设有泵体外壁和可向内、外变形的泵体内壁，泵体内壁以内为泵体的内腔，泵体内壁与泵体外壁之间的空腔为泵体的外腔，泵体两端开口处设有入口单向阀和出口单向阀；囊体的内腔中设有可伸缩的波纹管，波纹管为一端封闭、一端开口的结构，波纹管连接部分一端安装于波纹管开口端内壁，波纹管连接部分的另一端连接动力部分，囊体的内腔与泵体的外腔相通。

2、按照权利要求1所述的高精度光刻胶分配泵，其特征在于：泵体内壁为可以压缩和膨胀的薄壁结构，泵体外壁为刚性结构。

3、按照权利要求1所述的高精度光刻胶分配泵，其特征在于：分别设置于泵体进口和出口的入口单向阀和出口单向阀为双层密封结构。

4、按照权利要求1所述的高精度光刻胶分配泵，其特征在于：囊体的内腔中装有传递介质硅油，作为在波纹管和泵体之间的体积变化的传递介质。

5、按照权利要求1所述的高精度光刻胶分配泵，其特征在于：囊体上设置用于检测囊体的内腔压力的压力传感器。

6、按照权利要求1所述的高精度光刻胶分配泵，其特征在于：波纹管的波纹形状为等边三角形。

7、按照权利要求1所述的高精度光刻胶分配泵，其特征在于：动力部分为安装于壳体内的滚珠丝杠、步进电机、同步带轮、同步带构成，滚珠丝杠、步进电机上分别安装同步带轮，同步带轮之间通过同步带连接。