[发明专利]镀膜装置无效
| 申请号： | 200810301697.0 | 申请日： | 2008-05-21 |
| 公开（公告）号： | CN101586231A | 公开（公告）日： | 2009-11-25 |
| 发明（设计）人： | 颜士杰 | 申请（专利权）人： | 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司;鸿海精密工业股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;G02B1/10 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518109广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种镀膜装置，其包括壳体及安装在壳体内的工件承载架、蒸镀源、电子枪、修正板，所述工件承载架设置有多个容置通孔，用于承载待镀膜工件，所述蒸镀源与所述工件承载架相对而设，所述修正板具有相对的第一面和第二面，所述第一面与对应的蒸镀源相对设置，所述第二面与工件承载架相对，所述镀膜装置进一步包括光源和检测装置，所述光源设置于修正板的第二面，所述检测装置与光源相对设置，使得所述光源发出的光线通过容置通孔内的工件而到达检测装置。 | ||
| 搜索关键词： | 镀膜 装置 | ||
【主权项】：
1.一种镀膜装置，其包括壳体及安装在壳体内的工件承载架、蒸镀源、电子枪、修正板，所述工件承载架设置有多个容置通孔，用于承载待镀膜工件，所述蒸镀源与所述工件承载架相对而设，所述修正板具有相对的第一面和第二面，所述第一面与对应的蒸镀源相对设置，所述第二面与工件承载架相对，其特征在于，所述镀膜装置进一步包括光源和检测装置，所述光源设置于修正板的第二面，所述检测装置与光源相对设置，使得所述光源发出的光线通过容置通孔内的工件而到达检测装置。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于鸿富锦精密工业(深圳)有限公司;鸿海精密工业股份有限公司，未经鸿富锦精密工业(深圳)有限公司;鸿海精密工业股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200810301697.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：治疗、诊断或检测癌症的AMIGO-2抑制剂
- 下一篇：净水器
- 同类专利
- 专利分类
