[发明专利]镀膜装置无效
申请号: | 200810301697.0 | 申请日: | 2008-05-21 |
公开(公告)号: | CN101586231A | 公开(公告)日: | 2009-11-25 |
发明(设计)人: | 颜士杰 | 申请(专利权)人: | 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司;鸿海精密工业股份有限公司 |
主分类号: | C23C14/50 | 分类号: | C23C14/50;G02B1/10 |
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地址: | 518109广东省深圳市*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 镀膜 装置 | ||
1.一种镀膜装置,其包括壳体及安装在壳体内的工件承载架、蒸镀源、电子 枪、修正板,所述工件承载架设置有多个容置通孔,用于承载待镀膜工件, 所述蒸镀源与所述工件承载架相对而设,所述修正板具有相对的第一面和第 二面,所述第一面与对应的蒸镀源相对设置,所述第二面与工件承载架相对, 其特征在于,所述镀膜装置进一步包括光源和检测装置,所述光源设置于修 正板的第二面,所述检测装置与光源相对设置,使得所述光源发出的光线通 过容置通孔内的工件而到达检测装置。
2.如权利要求1所述的镀膜装置,其特征在于,所述蒸镀源的个数与修正板 的个数相等。
3.如权利要求1所述的镀膜装置,其特征在于,所述检测装置为电荷耦合器 件传感器或互补金属氧化物半导体传感器。
4.如权利要求1所述的镀膜装置,其特征在于,所述光源为发光二极管。
5.如权利要求1所述的镀膜装置,其特征在于,所述光源滑动设置于所述修 正板第二面。
6.如权利要求1所述的镀膜装置,其特征在于,所述修正板通过支撑部连接 于壳体。
7.如权利要求6所述的镀膜装置,其特征在于,所述修正板通过旋转机构连 接于支撑部,使得修正板遮挡的工件承载架的面积可以调节。
8.如权利要求1所述的镀膜装置,其特征在于,其进一步包括离子源,镀膜 过程中,用于向工件喷发离子束。
9.如权利要求1所述的镀膜装置,其特征在于,所述工件承载架包括一伞状 架体及旋转轴,所述旋转轴与外部驱动装置相连,用以在所述外部驱动装置 的驱动下,带动伞状架体旋转。
10.如权利要求9所述的镀膜装置,其特征在于,所述容置通孔在伞状架体上 等角度间距设置。
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