[发明专利]一种超高分辨率的磁力显微镜探针的制备方法

摘要

一种超高分辨率的磁力显微镜探针的制备方法，属于材料技术领域，包括以下步骤：(1)将无涂层Si探针用超声波清洗；(2)将经过清洗的无涂层Si探针固定在磁控溅射设备的样品腔中，在磁控溅射设备的样品腔中通入惰性气体a；(3)将Fe和Pt共溅射到无涂层Si探针表面；(4)在惰性气氛下加热到500～800℃进行热处理，使FePt合金涂层转化为L1₀-FePt合金涂层。本发明制备的磁力显微镜探针可以大幅度提高磁力显微镜的分辨率，横向分辨率已经达到了10纳米以内；本发明的方法简便易行；在对纳米磁性材料的表征、深化研究磁性纳米结构等领域具有重要意义。

主权项

1、一种超高分辨率的磁力显微镜探针的制备方法，其特征在于包括以下步骤：(1)将无涂层Si探针用频率为20000Hz以上的超声波清洗，时间不少于5min；(2)将经过超声波清洗的无涂层Si探针固定在磁控溅射设备的样品腔中，将磁控溅射设备的样品腔抽真空，达到真空度在5×10-5Pa以下，然后在磁控溅射设备的样品腔中通入惰性气体，使样品腔中的气体压力为0.1～1Pa；(3)通过磁控溅射设备将Fe和Pt共溅射到无涂层Si探针表面，获得FePt合金涂层Si探针，溅射时Fe原子占溅射Fe原子和Pt原子总量的45～55％，溅射时间为1～30分钟，溅射功率为5～30瓦；(4)将获得的FePt合金涂层Si探针在惰性气氛下加热到500～800℃进行热处理，使FePt合金涂层转化为L10-FePt合金涂层，热处理时间为5～15min，获得超高分辨率的磁力显微镜探针。