[发明专利]一种超高分辨率的磁力显微镜探针的制备方法无效
| 申请号： | 200810228929.4 | 申请日： | 2008-11-21 |
| 公开（公告）号： | CN101403100A | 公开（公告）日： | 2009-04-08 |
| 发明（设计）人： | 秦高梧;裴文利;任玉平 | 申请（专利权）人： | 东北大学 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/02;C23C14/58;C23C14/54;G12B21/10 |
| 代理公司： | 沈阳东大专利代理有限公司 | 代理人： | 梁 焱 |
| 地址： | 110004辽宁省*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 超高 分辨率 磁力 显微镜 探针 制备 方法 | ||
1.一种超高分辨率的磁力显微镜探针的制备方法，其特征在于包括以下步骤：(1)将无涂层Si探针用频率为20000Hz以上的超声波清洗，时间不少于5min；(2)将经过超声波清洗的无涂层Si探针固定在磁控溅射设备的样品腔中，将磁控溅射设备的样品腔抽真空，达到真空度在5×10-5Pa以下，然后在磁控溅射设备的样品腔中通入惰性气体，使样品腔中的气体压力为0.1～1Pa；(3)通过磁控溅射设备将Fe和Pt共溅射到无涂层Si探针表面，获得FePt合金涂层Si探针，溅射时Fe原子占溅射Fe原子和Pt原子总量的45～55％，溅射时间为1～30分钟，溅射功率为5～30瓦；(4)将获得的FePt合金涂层Si探针在惰性气氛下加热到500～800℃进行热处理，使FePt合金涂层转化为L10-FePt合金涂层，热处理时间为5～15min，获得超高分辨率的磁力显微镜探针；所述的超高分辨率的磁力显微镜探针尖锐度为20～40nm，其中尖锐度是指探针最先端的弧度半径；所述的超高分辨率的磁力显微镜探针的FePt合金涂层厚度为5～15nm。
2.根据权利要求1所述的一种超高分辨率的磁力显微镜探针的制备方法，其特征在于所述的超高分辨率的磁力显微镜探针的饱和磁化强度为500～800EMU/cc，矫顽力为6000～10000Oe。
3.根据权利要求1所述的一种超高分辨率的磁力显微镜探针的制备方法，其特征在于所述的超高分辨率的磁力显微镜探针的横向分辨率为5～15nm。
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