[发明专利]大幅面光刻胶玻璃板曝光后自动喷淋显影装置及方法

摘要

本发明公开了一种大幅面光刻胶玻璃板曝光后自动喷淋显影的装置及方法，装置包括控制系统、加热恒温系统、循环过滤喷淋系统、光刻胶玻璃板自动传输系统和风干系统；方法为：在控制系统上设定和输入显影参数，控制加热系统待药液温度达到设定值，自动传输系统将光刻胶板送进显影槽体，触发循环过滤喷淋系统，使药液从喷淋头处喷出，实现自动喷淋显影，显影结束，由另一循环过滤喷淋系统，获得去离子水，清洗光刻胶玻璃板表面滞留的药液；实现水洗；通过自动传输系统将光刻胶玻璃板送至风干区，吹干光刻胶玻璃板表面的水体，完成显影。本发明克服了人为操作显影带来的时间、平稳性误差导致显影深度不均匀和重复性差等不足之处和缺陷。

主权项

1.一种大幅面光刻胶玻璃板曝光后自动喷淋显影装置，包括控制系统、加热恒温系统、循环过滤喷淋系统、光刻胶玻璃板自动传输系统和风干系统；所述的控制系统用于加热恒温系统、循环过滤喷淋系统、自动传输系统和风干系统的控制，包括电源总开关、电加热器电源开关、温度控制数显调节仪、自动传输系统触发开关、光电定位开关、磁力泵开关、计时器、涡流风机电源开关；所述的加热恒温系统由电加热器、热传感器、温度控制数显调节仪、液位探测仪组成，温度控制数显调节仪设定显影温度，电加热器加热循环过滤喷淋系统中的药液储放槽，热传感器探测头和第一液位探测仪置于循环过滤喷淋系统中的药液储放槽内；所述的循环过滤喷淋系统包括药液储放槽、管道、连接到药液储放槽的第一磁力泵和连接到去离子水储放槽的第二磁力泵、连接第一磁力泵和第二磁力泵输出口的第一鸭嘴喷淋头和第二鸭嘴喷淋头、控制第一磁力泵和第二磁力泵工作时间的第一计时器和第二计时器；所述的光刻胶玻璃板自动传输系统包括驱动电机、减速齿轮箱、辊轴、传输皮带和光电定位开关、送料接物台，所述的减速齿轮箱输出轴上置有一辊轴，所述的传输皮带安装在辊轴上，送料台和接物台紧挨着传输皮带，装有光刻胶玻璃板托盘置于送料台和传输皮带交接处，托盘上装有定位信号标志，所述的驱动电机和控制系统面板上的触发开关相连接，控制系统启动驱动电机，驱动传输皮带运动；光电定位开关安装在显影装置的机架上，当测得托盘上的定位信号标志后，传输皮带停止运动；所述的风干系统由涡流风机、风刀组成，风刀由气管连接到涡流风机上，涡流风机配有空气过滤净化装置。