[发明专利]大幅面光刻胶玻璃板曝光后自动喷淋显影装置及方法

权利要求书

1.一种大幅面光刻胶玻璃板曝光后自动喷淋显影装置，包括控制系统、加热恒温系统、循环过滤喷淋系统、光刻胶玻璃板自动传输系统和风干系统；所述的控制系统用于加热恒温系统、循环过滤喷淋系统、自动传输系统和风干系统的控制，包括电源总开关、电加热器电源开关、自动传输系统触发开关、第一磁力泵开关、第二磁力泵开关、涡流风机电源开关；所述的加热恒温系统由电加热器、热传感器、温度控制数显调节仪、第一液位探测仪组成，温度控制数显调节仪设定显影温度，电加热器加热循环过滤喷淋系统中的药液储放槽，热传感器探测头和第一液位探测仪置于循环过滤喷淋系统中的药液储放槽内；所述的循环过滤喷淋系统包括药液储放槽、管道、连接到药液储放槽的第一磁力泵和连接到去离子水储放槽的第二磁力泵、分别连接第一磁力泵和第二磁力泵输出口的第一鸭嘴喷淋头和第二鸭嘴喷淋头、分别控制第一磁力泵和第二磁力泵工作时间的第一计时器和第二计时器；所述的光刻胶玻璃板自动传输系统包括驱动电机、减速齿轮箱、辊轴、传输皮带和光电定位开关、送料台和接物台，所述的减速齿轮箱输出轴上置有一辊轴，所述的传输皮带安装在辊轴上，送料台和接物台紧挨着传输皮带，装有光刻胶玻璃板的托盘置于送料台和传输皮带交接处，托盘上装有定位信号标志，所述的驱动电机和控制系统面板上的触发开关相连接，控制系统启动驱动电机，驱动传输皮带运动；光电定位开关安装在显影装置的槽体机架上，当测得托盘上的定位信号标志后，传输皮带停止运动；所述的风干系统由涡流风机、风刀组成，风刀由气管连接到涡流风机上，涡流风机配有空气过滤净化装置。

2.一种应用权利要求1所述的大幅面光刻胶玻璃板曝光后自动喷淋显影装置的自动喷淋显影方法，其步骤为：

(1)在控制系统上设定显影参数：药液温度、显影药液喷淋时间和去离子水喷淋冲洗时间；

(2)将曝过光的大幅面光刻胶玻璃板置于托盘上，放进送料台和传输皮带交接处；

(3)控制系统控制加热恒温系统使药液温度达到设定值并保持恒温；

(4)控制系统启动自动传输系统，使传输带匀速传动，传输带传动方向与水平面形成10度的倾角，将大幅面光刻胶板送进显影槽体机架，并与水平面成30度的倾角；

(5)由控制系统触发循环过滤喷淋系统，使药液在管道内快速流动，并从顺光刻胶玻璃板倾斜方向组成的两排多个鸭嘴喷淋头处喷出，形成前后两层水幕，开始自动喷淋显影；计时器同时开始计时，待达到设定值，循环过滤喷淋系统自动停止运转，结束药液喷淋；

(6)由控制系统触发另一冲洗循环过滤喷淋系统，使去离子水经管道从鸭嘴喷淋头处喷出，清洗光刻胶玻璃板表面滞留的药液；计时器同时开始计时，待达到设定值，停止喷水；

(7)控制系统启动自动传输系统，将大幅面光刻胶玻璃板缓慢送至风干系统；风刀与光刻胶板呈30度夹角，通过风刀作用，吹干大幅面光刻胶玻璃板表面的水体，再传送到接物台，完成显影。