[发明专利]大幅面光刻胶玻璃板曝光后自动喷淋显影装置及方法有效
| 申请号: | 200810201113.2 | 申请日: | 2008-10-14 |
| 公开(公告)号: | CN101369105A | 公开(公告)日: | 2009-02-18 |
| 发明(设计)人: | 姜兆华;张伟 | 申请(专利权)人: | 上海市激光技术研究所 |
| 主分类号: | G03F7/30 | 分类号: | G03F7/30 |
| 代理公司: | 上海申汇专利代理有限公司 | 代理人: | 吴宝根 |
| 地址: | 200233*** | 国省代码: | 上海;31 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 大幅面 光刻 玻璃板 曝光 自动 喷淋 显影 装置 方法 | ||
技术领域
本发明设涉及一种大幅面光刻胶玻璃板曝光后自动喷淋显影装置及方法,属于激光全息制版技术、激光精细加工和精细化工技术领域。
背景技术
全息光刻胶玻璃板显影是激光全息母版制作过程中一个必已不可少的重要后道工序,显影工艺技术的好坏将直接影响激光全息母版的质量,从而进一步影响激光全息制品的质量。传统的全息光刻胶板显影大都采用人工水平浸液的方法,这种方法适用于约300x300mm2以下小幅面的光刻胶玻璃板的显影,其制作出来的激光全息母版主要用于全息标贴等窄幅激光制品的制作。随着经济的快速发展,激光全息技术的应用趋势也不断地向高端市场发展,尤其在防伪、包装和装饰领域,逐渐从窄幅向技术含量更高、防伪性能更强的无拼缝大幅面(最大约达1x1m2)方向发展。由于幅面大,采用传统水平浸显的方法边缘和中心部位会造成较大的浸液时间差值,及人为操作带来的时间、平稳性等多方面的误差,从而导致整个版面显影深度不均匀和重复性差,进而影响全息母版质量。若采用垂直津液的方法显影,那么对于如此大幅面的光刻胶玻璃板,起始入液点和最终入液点之间会存在较大的时间差,同样存在着如上所述的问题。
目前印刷行业的ps版显影采用全自动显影机,它与全息光刻胶玻璃板显影在特性上有三大的区别:1.ps板是软性的材质,它可以通过滚轮作用呈曲面传送;而全息光刻胶玻璃板是易碎材料,不可弯曲;2.ps板采用潜浸式的显影方式,其表面可以用毛刷一边显影一边刷洗;而全息光刻胶玻璃板表面不能碰触;3.ps板显影时间长,对时间误差不敏感;而全息光刻胶玻璃板的显影时间相当短,时间差值对刻槽会产生很大的影响。印刷行业的这种ps版全自动显影方法和装置不适合本专利涉及的全息大幅面光刻胶玻璃板的显影。目前,全息大幅面光刻胶玻璃板的显影方法和装置尚无相关的资料报道。
发明内容
本发明针对全息大幅面光刻胶玻璃板曝光后的显影工艺,是要克服人工显影方法存在的时间、平稳性误差导致的显影深度不均匀和重复性差等不足之处和缺陷,提供一种显影工艺稳定易控制、适合全息大幅面光刻胶玻璃板显影的装置及方法。
本发明的技术方案是:大幅面光刻胶玻璃板曝光后自动喷淋显影装置,包括控制系统、加热恒温系统、循环过滤喷淋系统、光刻胶玻璃板自动传输系统和风干系统;所述的控制系统用于加热恒温系统、循环过滤喷淋系统、自动传输系统和风干系统的控制,包括电源总开关、电加热器电源开关、自动传输系统触发开关、第一磁力泵开关、第二磁力泵开关、涡流风机电源开关;所述的加热恒温系统由电加热器、热传感器、温度控制数显调节仪、第一液位探测仪组成,温度控制数显调节仪设定显影温度,电加热器加热循环过滤喷淋系统中的药液储放槽,热传感器探测头和第一液位探测仪置于循环过滤喷淋系统中的药液储放槽内;所述的循环过滤喷淋系统包括药液储放槽、管道、连接到药液储放槽的第一磁力泵和连接到去离子水储放槽的第二磁力泵、分别连接第一磁力泵和第二磁力泵输出口的第一鸭嘴喷淋头和第二鸭嘴喷淋头、分别控制第一磁力泵和第二磁力泵工作时间的第一计时器和第二计时器;所述的光刻胶玻璃板自动传输系统包括驱动电机、减速齿轮箱、辊轴、传输皮带、触发开关、光电定位开关、送料台和接物台,所述的减速齿轮箱输出轴上置有一辊轴,所述的传输皮带安装在辊轴上,装有光刻胶玻璃板的托盘置于传输皮带上,所述的驱动电机和控制系统面板上的触发开关相连接,控制系统启动驱动电机,驱动传输皮带运动;光电定位开关安装在显影装置的槽体机架上,当测得托盘上的定位信号标志后,传输皮带停止运动;所述的风干系统由涡流风机、风刀组成,风刀由气管连接到涡流风机上,涡流风机配有空气过滤净化装置。
大幅面光刻胶玻璃板曝光后自动喷淋显影方法,其步骤为:
1.在控制系统上设定显影参数:药液温度、显影药液喷淋时间和去离子水喷淋冲洗时间;
2.将曝过光的大幅面光刻胶玻璃板置于托盘上,放进送料台和传输皮带交接处;
3.控制系统控制加热恒温系统使药液温度达到设定值并保持恒温;
4.控制系统启动自动传输系统,使传输带匀速传动,传输带传动方向与水平面形成10度的倾角,将大幅面光刻胶板送进显影槽体机架,并与水平面成30度的倾角;
5.由控制系统触发循环过滤喷淋系统,使药液在管道内快速流动,并从顺光刻胶玻璃板倾斜方向组成的两排多个鸭嘴喷淋头处喷出,形成前后两层水幕,开始自动喷淋显影;计时器同时开始计时,待达到设定值,循环过滤喷淋系统自动停止运转,结束药液喷淋;
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