[发明专利]调节和固定基板温度的装置

摘要

本发明涉及一种调节和固定基板温度的装置(10)，包括：静电卡盘(11)，其设置有基体(21)、嵌入所述基体(21)中的静电电极(22)以及嵌入所述基体(21)中以便加热所述基板(20)的电阻加热器(23)，所述基体(21)具有用于将基板(20)放置在上面的基板放置表面(21A)；以及底板(12)，其设置有用于冷却所述静电卡盘(11)的冷却机构(46)并且支撑所述静电卡盘(11)，其中在底板主体(45)的位于所述冷却机构(46)与所述静电卡盘(11)之间的部分中设置有隔热部分(47)。

主权项

1. 一种调节和固定基板温度的装置，包括：静电卡盘，包括：基体，其具有用于将基板放置在上面的基板放置表面；静电电极，其嵌入所述基体中；以及电阻加热器，其嵌入所述基体中以便加热所述基板，底板，包括：底板主体，其用于支撑所述静电卡盘；以及冷却机构，其嵌入所述底板主体中以便使所述基体冷却，以及隔热部分，其设置在所述底板主体的位于所述冷却机构与所述静电卡盘之间的部分中。