[发明专利]基板处理装置及基板处理方法

摘要

本发明提供一种基板处理装置及基板处理方法，在通过处理液处理基板后，通过溶剂蒸气干燥基板，所述装置包括：处理槽，其用于储存处理液；保持部，其在处理槽内保持基板；腔室，其包围所述处理槽的周围；溶剂蒸气供给部，其用于向所述腔室内供给溶剂蒸气；排气部，其经由一端一侧连接于所述腔室内的排气管，从所述腔室内排出气体；排液管，其一端一侧连接在所述腔室内，将处理液从所述腔室内排出；气液分离部，其与所述排气管的另一端一侧连接，取入由所述排气装置排出的气体，并且与所述排液管的另一端一侧连接，取入经由所述排液管排出的处理液，而且将气体和液体分离；混合部，其设置在所述排气管上，向由所述排气装置排出的气体内混合纯水。

主权项

1. 一种基板处理装置，在通过处理液处理基板之后，通过溶剂蒸气干燥基板，其中，所述装置包括：处理槽，其用于储存处理液；保持装置，其在所述处理槽内保持基板；腔室，其包围所述处理槽的周围；溶剂蒸气供给装置，其用于向所述腔室内供给溶剂蒸气；排气装置，其经由一端一侧连接于所述腔室内的排气管，从所述腔室内排出气体；排液管，其一端一侧连接于所述腔室内，将处理液从所述腔室内排出；气液分离装置，其与所述排气管的另一端一侧连接，取入由所述排气装置排出的气体，并且该气液分离装置与所述排液管的另一端一侧连接，取入经由所述排液管排出的处理液，而且将气体和液体分离；混合装置，其设置在所述排气管上，向由所述排气装置排出的气体内混合纯水。