[发明专利]三氯硅烷制造用反应装置及三氯硅烷制造方法

摘要

本发明提供一种三氯硅烷制造用反应装置及三氯硅烷制造方法，可靠地使氯化氢气体分散，进一步提高三氯硅烷的生产效率，极力减少四氯化硅的产生。在使金属硅粉末(M)与氯化氢气体发生反应来生成三氯硅烷的三氯硅烷制造用反应装置(10)中，具有被供给金属硅粉末(M)的装置主体(11)、和将上述氯化氢气体从该装置主体(11)的底部侧向装置主体(11)内喷出的喷出口，在喷出口的上侧以混合状态堆积着具有沿厚度方向贯通的贯通孔的多个有孔小片、和夹于这些有孔小片彼此之间的多个颗粒。

主权项

1. 一种三氯硅烷制造用反应装置，使金属硅粉末与氯化氢气体发生反应来生成三氯硅烷，该三氯硅烷制造用反应装置具有：被供给上述金属硅粉末的装置主体、和在分隔上述装置主体的底部的分隔板的上表面开口且将上述氯化氢气体向上述装置主体内喷出的喷出口，在上述喷出口的上侧以混合状态堆积着多个有孔小片和多个颗粒，该有孔小片形成为板状并具有沿厚度方向贯通的贯通孔，该颗粒夹于这些有孔小片彼此之间。