[发明专利]三氯硅烷制造用反应装置及三氯硅烷制造方法

权利要求书

1. 一种三氯硅烷制造用反应装置，使金属硅粉末与氯化氢气体发生反应来生成三氯硅烷，

该三氯硅烷制造用反应装置具有：被供给上述金属硅粉末的装置主体、和在分隔上述装置主体的底部的分隔板的上表面开口且将上述氯化氢气体向上述装置主体内喷出的喷出口，

在上述喷出口的上侧以混合状态堆积着多个有孔小片和多个颗粒，该有孔小片形成为圆形平板状并具有沿厚度方向贯通的贯通孔，该颗粒为球构件并夹于这些有孔小片彼此之间，

上述贯通孔的大小是上述颗粒不能插通的大小，

上述颗粒以相对于上述有孔小片为0.5倍～5倍的重量比混合存在。

2. 根据权利要求1所述的三氯硅烷制造用反应装置，其特征在于：

上述颗粒是直径为5mm～20mm的球构件，

上述有孔小片的外径设定在4mm～20mm的范围内。

3. 一种三氯硅烷制造方法，使金属硅粉末与氯化氢气体发生反应来生成三氯硅烷，

在将被供给上述金属硅粉末的装置主体的底部分隔的分隔板的上侧，预先以混合状态堆积多个有孔小片和多个颗粒，一边对上述装置主体供给金属硅粉末，一边从在上述分隔板的上表面开口的喷出口喷出上述氯化氢气体，该有孔小片形成为圆形平板状并具有沿厚度方向贯通的贯通孔，该颗粒为球构件并夹于这些有孔小片彼此之间，上述贯通孔的大小是上述颗粒不能插通的大小，上述颗粒以相对于上述有孔小片为0.5倍～5倍的重量比混合存在。