[发明专利]影像显示系统及其制造方法有效
| 申请号： | 200810172104.5 | 申请日： | 2008-11-10 |
| 公开（公告）号： | CN101676781A | 公开（公告）日： | 2010-03-24 |
| 发明（设计）人： | 林介文;王之杰;张圣文;万德昌 | 申请（专利权）人： | 统宝光电股份有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/1362 | 分类号： | G02F1/1362;G02F1/13;H01L27/12;H01L21/84;G06F3/041 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 彭久云 |
| 地址： | 中国台湾新*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明提供一种影像显示系统及其制造方法，上述影像显示系统包括薄膜晶体管基板，上述薄膜晶体管基板包括基板，其具有显示区域及垫区域；以及导线，设置于该显示区域的该基底上方，该导线具有上金属线、中间金属线及下金属线，其中该中间金属线的宽度窄于该上金属线的宽度。 | ||
| 搜索关键词： | 影像 显示 系统 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种影像显示系统的制造方法，包括：提供基板，其包括显示区域及垫区域；依序形成下金属层、中间金属层、上金属层于该基板上；各向异性蚀刻该上金属层、该中间金属层及该下金属层以在该显示区域形成导线，该导线具有下金属线、中间金属线及上金属线；以及各向同性蚀刻该中间金属线，以使该中间金属线的宽度窄于该上金属线的宽度及该下金属线的宽度。
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