[发明专利]影像显示系统及其制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种影像显示系统，特别是涉及一种薄膜晶体管基板在显示 区域和垫区域的导线及接合垫的构造及其制造方法。

背景技术

液晶平面显示器近年来已经被大量应用在各式各样产品的显示元件上。 为了提高液晶平面显示器的显示品质，则要提高液晶显示面板的开口率，并 且避免漏光(light leakage)问题的产生。

然而，在已知的工艺中，设置于薄膜晶体管基板的扫描线(scan line)或数 据线(data line)的形状通常为锥形(taper)，当包括液晶显示面板的影像显示系 统的背光源装置(back light module)照射已知的薄膜晶体管基板时，会由于锥 形导线含有高反射率金属，而造成反光进而导致液晶显示面板严重的漏光问 题。

为了解决液晶显示面板的漏光问题，已知技术可于扫描线(scan line)或数 据线(data line)的下方额外设置一层遮蔽金属层，以阻挡背光源装置产生的光 照射至上述导线造成反光。然而，上述额外设置的遮蔽金属层会使液晶显示 面板整体的开口率(aperture ratio)下降，导致液晶显示面板亮度降低，造成显 示品质不佳等问题。另外，已知技术也可于扫描线(scan line)或数据线(data line)上设置一层氮化硅(SiN_X)，以解决液晶显示面板的漏光问题。但是，形 成上述氮化硅(SiN_X)层所需的例如化学气相沉积(CVD)、光刻和蚀刻等额外 工艺会造成工艺成本上升的问题。

因此，需要一种可克服漏光问题的液晶显示面板，以达到优选的显示品 质。

发明内容

本发明的实施例提供一种影像显示系统的制造方法，包括提供基板，其 包括显示区域及垫区域；依序形成下金属层、中间金属层、上金属层于该基 板上；各向异性蚀刻该上金属层、该中间金属层及该下金属层以在该显示区 域形成导线，该导线具有下金属线、中间金属线及上金属线；以及各向同性 蚀刻该中间金属线，使该中间金属线的宽度窄于该上金属线的宽度及该下金 属线的宽度。

本发明另一实施例提供一种影像显示系统，包括薄膜晶体管基板，包括： 该薄膜晶体管基板包括基板，包括显示区域及垫区域；导线，设置于该显示 区域的该薄膜晶体管基底上方，该导线具有下金属线、中间金属线及下金属 线，其中该中间金属线的宽度窄于该上金属线的宽度及该下金属线的宽度。

附图说明

图1为本发明实施例的液晶显示面板的示意图。

图2为本发明实施例的形成于薄膜晶体管基板的显示区域及垫区域的导 线及接合垫。

图3a～图3d为本发明实施例的导线及接合垫的工艺剖面图。

图4a～图4e为本发明另一实施例的导线及接合垫的工艺剖面图。

图4d’～图4e’为本发明又另一实施例的导线及接合垫的工艺剖面图。

图5为本发明实施例的包含液晶显示面板的影像显示系统的配置示意 图。

附图标记说明

100～基板；                        102～下金属层；

104～中间金属层；                  106～上金属层；

102a～下金属线；                   104a～中间金属线；

106a～上金属线；                   102b～下金属垫；

104b～中间金属垫；                 106b～上金属垫；

108、110～光致抗蚀剂图案；         220～导电保护层；

30～光线；                         224、226～光掩模；

10～遮光区；                       20～透光区；

40～半透光区；                     222～光感平坦层；

222a～光感材料；                   250～开口；

202～薄膜晶体管基板；              204～彩色滤光片基板；

206～信号处理带；                  208～电路板；