[发明专利]影像显示系统及其制造方法有效
申请号: | 200810172104.5 | 申请日: | 2008-11-10 |
公开(公告)号: | CN101676781A | 公开(公告)日: | 2010-03-24 |
发明(设计)人: | 林介文;王之杰;张圣文;万德昌 | 申请(专利权)人: | 统宝光电股份有限公司 |
主分类号: | G02F1/1362 | 分类号: | G02F1/1362;G02F1/13;H01L27/12;H01L21/84;G06F3/041 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人: | 彭久云 |
地址: | 中国台湾新*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 影像 显示 系统 及其 制造 方法 | ||
1.一种影像显示系统的制造方法,包括:
提供基板,其包括显示区域及垫区域;
依序形成下金属层、中间金属层、上金属层于该基板上;
各向异性蚀刻该上金属层、该中间金属层及该下金属层以在该显示区域 形成导线,该导线具有下金属线、中间金属线及上金属线,且同时在该垫区 域形成接合垫,该接合垫包括下金属垫、中间金属垫及上金属垫;
各向同性蚀刻该中间金属线,以使该中间金属线的宽度窄于该上金属线 的宽度及该下金属线的宽度,且同时蚀刻该中间金属垫,使得该中间金属垫 的宽度窄于该上金属垫及该下金属垫的宽度;
在该显示区域及该垫区域形成光感平坦层;
通过光线透过包括遮光区及透光区的光掩模对该光感平坦层曝光,以在 该中间金属垫的侧壁及该上金属垫以及该下金属垫之间留下光感材料;以及
在该上金属垫上形成导电保护层。
2.一种影像显示系统,包括:
薄膜晶体管基板,包括:
基板,其具有显示区域及垫区域;
导线,设置于在该显示区域中的该基板上方,该导线具有下金属 线、中间金属线及上金属线,其中该中间金属线的宽度窄于该上金属线的宽 度及该下金属线的宽度;
接合垫,设于该基板的垫区域,该接合垫包括下金属垫、中间金 属垫及上金属垫,其中该接合垫的中间金属垫的宽度窄于该上金属垫及 该下金属垫的宽度;
光感材料,形成于该中间金属垫的侧壁以及该上金属垫以及该下 金属垫之间;以及
导电保护层,覆盖于该上金属垫上。
3.如权利要求2所述的影像显示系统,还包括:
彩色滤光片基板;以及
背光源装置,与该薄膜晶体管基板与彩色滤光片基板构成液晶显示器。
4.如权利要求3所述的影像显示系统,还包括电子装置,其中该电子装 置为移动电话、数字相机、个人数字助理、笔记型电脑、桌上型电脑、电视、 车用显示器、全球定位系统、航空用显示器、数字相框或可携式DVD播放 机,该电子装置包含:
该液晶显示器;以及
输入单元,与该液晶显示器耦接,其中该输入单元传输信号至该液晶显 示器,以使该液晶显示器显示影像。
5.一种影像显示系统的制造方法,包括:
提供基板,其包括显示区域及垫区域;
依序形成下金属层、中间金属层、上金属层于该基板上;
各向异性蚀刻该上金属层、该中间金属层及该下金属层以在该显示区域 形成导线,该导线具有下金属线、中间金属线及上金属线,且同时在该垫区 域形成接合垫,该接合垫包括下金属垫、中间金属垫及上金属垫;
各向同性蚀刻该中间金属线,以使该中间金属线的宽度窄于该上金属线 的宽度及该下金属线的宽度,且同时蚀刻该中间金属垫,使得该中间金属垫 的宽度窄于该上金属垫及该下金属垫的宽度;
在该显示区域及该垫区域形成光感平坦层;
利用光线透过具有半透光区及透光区的光掩模对该光感平坦层曝光;
在该基板及该接合垫上留下光感材料,该光感材料具有开口,露出该上 金属垫;以及
在该上金属垫及该光感材料上形成导电保护层。
6.一种影像显示系统,包括:
薄膜晶体管基板,包括:
基板,其具有显示区域及垫区域;
导线,设置于在该显示区域中的该基板上方,该导线具有下金属 线、中间金属线及上金属线,其中该中间金属线的宽度窄于该上金属 线的宽度及该下金属线的宽度;
接合垫,设于该基板的垫区域,该接合垫包括下金属垫、中间金 属垫及上金属垫,其中该接合垫的中间金属垫的宽度窄于该上金属垫 及该下金属垫的宽度;
光感材料,形成于该基板及该接合垫上,该光感材料具有开口, 露出该上金属垫;以及
导电保护层,覆盖于该上金属垫及该光感材料上。
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