[发明专利]基板外观检查装置无效
| 申请号： | 200810161508.4 | 申请日： | 2008-09-24 |
| 公开（公告）号： | CN101398396A | 公开（公告）日： | 2009-04-01 |
| 发明（设计）人： | 西泽诚 | 申请（专利权）人： | 奥林巴斯株式会社 |
| 主分类号： | G01N21/956 | 分类号： | G01N21/956 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人： | 党晓林 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供基板外观检查装置，其不使用高性能的装置，能够得到在搬送路上搬送来的检查对象基板的鲜明的图像，从而进行高精度的微观检查。基板外观检查装置(1)具有：基板搬送路(25)，其使基板(33)沿着恒定方向移动；照明部(13)，其对基板(33)射出照明光；摄像部(15)，其接受从照明部(13)射出并在基板(33)反射后的反射光或者透过基板(33)后的透射光；驱动部(7)，其使照明部(13)和摄像部(15)一体地移动；以及控制部(11)，其对驱动部(7)的驱动进行控制，以使得驱动部(7)使照明部(13)和摄像部(15)沿着与基板(33)的移动方向相同的方向移动。 | ||
| 搜索关键词： | 外观 检查 装置 | ||
【主权项】：
1、一种基板外观检查装置，所述基板外观检查装置具有：基板搬送单元，其使检查对象基板沿着恒定方向移动；照明单元，其对所述检查对象基板射出照明光；受光单元，其接受从该照明单元射出并在所述检查对象基板反射后的反射光、或者透过所述检查对象基板后的透射光；移动单元，其使所述照明单元和所述受光单元一体地移动；以及对该移动单元的驱动进行控制的控制单元，该控制单元对所述移动单元的驱动进行控制，以使得所述移动单元使所述照明单元和所述受光单元沿着与所述检查对象基板的移动方向相同的方向移动。
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