[发明专利]基板外观检查装置

说明书

技术领域

本发明涉及基板外观检查装置。

背景技术

以往，作为对在制造LCD(液晶显示器)等时使用的母玻璃基板(检查对象基板)上产生的缺陷等进行检查的技术，公知有对在搬送路上移动的检查对象基板的图像进行摄像来进行检查的检查装置(参照专利文献1和专利文献2)。

对于专利文献1的检查装置，通过在检查对象基板到达摄影视场内的预定位置之前，求出检查对象基板的位置和到达所需的时间，从而在摄影预定位置对检查对象基板的整体进行摄影来进行微观检查。

并且，对于专利文献2的检查装置，使由线状的摄像元件构成的摄像单元和摄影对象物在正交的方向上移动，根据拍摄到的线状的图像作成整体图像来进行微观检查。

【专利文献1】日本特开平8-313454号公报

【专利文献2】日本特开平10-260139号公报

此处，在包含上述的LCD的FPD(平板显示器)的制造工序/检查工序中的直线排列(in-line)的各种制造装置和检查装置中，期望进一步缩短工序时间、提高检查效率。

但是，在上述的专利文献1和专利文献2的检查装置中，当进一步提高摄像对象基板的搬送速度的情况下，为了得到摄影对象基板的良好的图像，需要灵敏度高的照相机和高速地进行图像信号处理的系统等。

并且，为了将摄影对象基板的图像作为明亮且噪音少的图像获得，需要能够使高灵敏度的明亮照明均匀地照射到摄像范围的照明装置等。

对于这种不便，检查对象基板移动的搬送路的速度越快，并且越追求检查对象基板的微观检查的精度，系统和照明装置所要求的条件越严。

发明内容

本发明就是鉴于这种情况而完成的，其目的在于提供一种不使用昂贵且高性能的装置，能够以更廉价的结构得到在搬送路上搬送来的检查对象基板的鲜明的图像，且能够高精度地进行微观检查的基板外观检查装置。

为了解决上述课题，本发明采用以下的手段。

本发明提供一种基板外观检查装置，所述基板外观检查装置具有：基板搬送单元，其使检查对象基板沿着恒定方向移动；照明单元，其对所述检查对象基板射出照明光；受光单元，其接受从该照明单元射出并在所述检查对象基板反射后的反射光、或者透过所述检查对象基板后的透射光；移动单元，其使所述照明单元和所述受光单元一体地移动；以及对该移动单元的驱动进行控制的控制单元，该控制单元对所述移动单元的驱动进行控制，以使得所述移动单元使所述照明单元和所述受光单元沿着与所述检查对象基板的移动方向相同的方向移动。

根据本发明，通过照明单元的动作，对通过基板搬送单元的动作而移动的检查对象基板射出照明光，并利用受光单元接受该反射光或透射光。

该情况下，由于通过移动单元的动作使照明单元和受光单元一体地移动，并且，通过控制部的动作使照明单元和受光单元沿着与检查对象基板的移动方向相同的方向移动，因此能够减小照明单元和受光单元相对于检查对象基板的相对速度。

因此，与使检查对象基板或者照明单元和受光单元中的任一个停止进行摄像的情况相比，能够遍及检查对象基板的整个面得到高分辨率的图像，能够对检查对象基板良好地进行微观检查。由此，例如即使延长摄影单元的曝光时间，也能够无抖动地对反射光或者透射光进行拍摄，并且，能够得到鲜明的图像。并且，能够一边搬送检查对象基板一边进行微观检查，从而能够有效地利用搬送检查对象基板所需的时间，能够缩短生产节拍时间。

在上述发明中，所述基板搬送单元也可以使所述检查对象基板以恒定的速度移动。

通过这样构成，容易得到抖动少的鲜明的图像，能够提高微观检查的精度。

并且，在上述发明中，所述基板外观检查装置也可以具有：检查单元，其一体地构成所述照明单元和所述受光单元；以及引导单元，其沿着所述检查对象基板的搬送方向平行地设置，对所述检查单元的移动进行引导。

通过这样构成，能够利用检查单元稳定照明单元与受光单元的位置关系，能够利用受光单元高精度地接受来自照明单元的照明光。并且，由于照明单元和受光单元由引导单元沿着检查对象基板的搬送方向进行引导，因此能够容易且准确地使照明单元和受光单元与检查对象基板在同一方向上移动。

并且，也可以在上述发明中，所述照明单元为直线照明光源，所述受光单元可以为直线传感器。