[发明专利]基板外观检查装置

权利要求书

1、一种基板外观检查装置，所述基板外观检查装置具有：

基板搬送单元，其使检查对象基板沿着恒定方向移动；

照明单元，其对所述检查对象基板射出照明光；

受光单元，其接受从该照明单元射出并在所述检查对象基板反射后的反射光、或者透过所述检查对象基板后的透射光；

移动单元，其使所述照明单元和所述受光单元一体地移动；以及

对该移动单元的驱动进行控制的控制单元，

该控制单元对所述移动单元的驱动进行控制，以使得所述移动单元使所述照明单元和所述受光单元沿着与所述检查对象基板的移动方向相同的方向移动。

2、根据权利要求1所述的基板外观检查装置，其中，

所述基板搬送单元使所述检查对象基板以恒定的速度移动。

3、根据权利要求1或2所述的基板外观检查装置，其中，所述基板外观检查装置具有：

检查单元，其一体地构成所述照明单元和所述受光单元；以及

引导单元，其沿着所述检查对象基板的搬送方向平行地设置，对所述检查单元的移动进行引导。

4、根据权利要求1所述的基板外观检查装置，其中，

所述照明单元为直线照明光源，所述受光单元为直线传感器。

5、根据权利要求1所述的基板外观检查装置，其中，

所述基板外观检查装置还具有对所述检查对象基板的搬送速度进行检测的速度检测单元，

所述控制单元根据由所述速度检测单元检测到的所述检查对象基板的搬送速度来对所述移动单元进行控制。

6、根据权利要求1或5所述的基板外观检查装置，其中，

所述控制单元对所述照明单元和所述受光单元相对于所述检查对象基板的相对速度进行控制，以使其成为比所述检查对象基板的搬送速度低的恒定速度。

7、根据权利要求6所述的基板外观检查装置，其中，

所述照明单元和所述受光单元的移动速度被设定为比所述检查对象基板的搬送速度低的速度。

8、根据权利要求1或5所述的基板外观检查装置，其中，

所述照明单元和所述受光单元的移动速度被设定为比所述检查对象基板的搬送速度高的速度。

9、根据权利要求1或5所述的基板外观检查装置，其中，

所述照明单元和所述受光单元的移动速度被设定为与所述检查对象基板的搬送速度相同的速度。

10、根据权利要求1所述的基板外观检查装置，其中，

所述受光单元为具有二维摄像元件的照相机。