[发明专利]基板热处理炉

摘要

本发明提供一种通过加热处理能够高效地分解在排出的热风中含有的有机物的基板热处理炉。通过向炉体主体部(10)的内部吹出热风，对玻璃基板(W)进行加热处理。从炉体主体部(10)排出的热风经由循环路径(20)再次返回炉体主体部(10)。在该路径中途，将热风的一部分排出至排气管道(23)。在排气管道(23)设置有在金属过滤器上担载催化剂而构成的催化剂过滤器部(71)。由此，被排出的热风与催化剂之间的接触效率变高，能够提高有机物的分解效率。而且，也能够捕集微粒状的有机物，从而能够提高总体上的有机物的分解效率。

主权项

1. 一种基板热处理炉，对基板进行加热处理，其特征在于，具有：炉体主体部，其用于在内部容置基板，导出部，其用于将从所述炉体主体部排出的热风的至少一部分导出至比所述热风的温度低的部分，过滤器，其设置在所述导出部，并且该过滤器担载有催化剂；通过所述过滤器对导出至所述导出部中的所述热风所包含的有机物进行分解。