[发明专利]基板热处理炉

权利要求书

1.一种基板热处理炉，对基板进行加热处理，其特征在于，具有：

炉体主体部，其用于在内部容置基板，

导出部，其用于将从所述炉体主体部排出的热风的至少一部分导出至比所述热风的温度低的部分，

过滤器，其设置在所述导出部，并且该过滤器担载有催化剂；

通过所述过滤器对导出至所述导出部中的所述热风所包含的有机物进行分解。

2.根据权利要求1所述的基板热处理炉，其特征在于，

所述过滤器是金属过滤器，

并且该基板热处理炉附设有加热装置，所述加热装置对所述过滤器和被导入所述过滤器内的热风中的至少一方进行加热。

3.根据权利要求2所述的基板热处理炉，其特征在于，所述加热装置将所述过滤器和被导入所述过滤器内的热风中的至少一方加热到200℃至400℃。

4.根据权利要求1所述的基板热处理炉，其特征在于，具有至少包围所述炉体主体部的框体，并且在该框体外设置所述过滤器。

5.根据权利要求1所述的基板热处理炉，其特征在于，具有至少包围所述炉体主体部及所述过滤器的框体。

6.根据权利要求1所述的基板热处理炉，其特征在于，所述催化剂包含光催化剂。

7.根据权利要求6所述的基板热处理炉，其特征在于，所述光催化剂包含钛氧化物。

8.根据权利要求7所述的基板热处理炉，其特征在于，还具有向所述光催化剂照射光的光照射装置。

9.根据权利要求1所述的基板热处理炉，其特征在于，所述催化剂包含铂。

10.根据权利要求1～9中任一项所述的基板热处理炉，其特征在于，具有：

循环路径，其使从所述炉体主体部排出的热风循环并再次供给至所述炉体主体部，

循环鼓风机，其设置在所述循环路径上，并使热风循环，

炉体用加热装置，其设置在所述循环路径上，并对热风进行加热，

主过滤器部，其设置在所述循环路径上，并使热风通过；

所述导出部从所述循环路径分支出来。

11.根据权利要求10所述的基板热处理炉，其特征在于，具有：

2个吸附塔，所述2个吸附塔并列地设置在所述循环路径的中途，用于吸附二氧化碳以及/或者水分，

切换装置，其以择一的方式切换热风的流路，使得热风通过所述2个吸附塔中的任意一个，

切换控制装置，其用于控制所述切换装置，使得热风交替地通过所述2个吸附塔。

12.根据权利要求10所述的基板热处理炉，其特征在于，所述主过滤器部的热风出口与所述炉体主体部的热风供给口相连接。

13.根据权利要求10所述的基板热处理炉，其特征在于，还具有向所述循环路径供给已加热的外部气体的外部气体供给装置。

14.根据权利要求10所述的基板热处理炉，其特征在于，从所述循环路径向所述导出部导入热风的10％～15％，并且将该热风的剩余部分导向所述炉体主体部。

15.根据权利要求10所述的基板热处理炉，其特征在于，

所述基板具有被烧成膜，

在所述炉体主体部的内部进行该被烧成膜的烧成。

16.根据权利要求15所述的基板热处理炉，其特征在于，所述被烧成膜是抗蚀剂涂覆膜、有机物涂敷膜或者喷墨涂布膜。