[发明专利]高频表面声波组件及其基板有效
| 申请号： | 200810146398.4 | 申请日： | 2008-08-27 |
| 公开（公告）号： | CN101662268A | 公开（公告）日： | 2010-03-03 |
| 发明（设计）人： | 施文钦;王惠民 | 申请（专利权）人： | 大同大学;大同股份有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 周长兴 |
| 地址： | 台湾省*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明是关于一种高频表面声波组件及其基板，尤其是指一种无需以价格昂贵的蓝宝石基板做为其基板的高频表面声波组件及其基板。高频表面声波组件包括：一基板；一形成于基板的表面的第一缓冲层；一形成于第一缓冲层的表面的第二缓冲层，一形成于第二缓冲层的表面的压电层；一输入转换部；以及一输出转换部。其中，输入转换部与输出转换部成对地设置于压电层的表面或其下方。基板为硅基板，第一缓冲层为氧化硅，厚度介于0.05至0.2μm之间，第二缓冲层为氧化铝，厚度介于0.5至20μm之间，压电层为氧化锌、氮化铝、铌酸锂或钽酸锂材质的压电薄膜。 | ||
| 搜索关键词： | 高频 表面 声波 组件 及其 | ||
【主权项】：
1、一种高频表面声波组件，包括：一基板；一第一缓冲层，形成于该基板的表面；一第二缓冲层，形成于该第一缓冲层的表面；一压电层，形成于该第二缓冲层的表面；一输入转换部；以及一输出转换部；其中，该输入转换部与该输出转换部是成对地设置于该压电层的表面。
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