[发明专利]高频表面声波组件及其基板有效
| 申请号： | 200810146398.4 | 申请日： | 2008-08-27 |
| 公开（公告）号： | CN101662268A | 公开（公告）日： | 2010-03-03 |
| 发明（设计）人： | 施文钦;王惠民 | 申请（专利权）人： | 大同大学;大同股份有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 周长兴 |
| 地址： | 台湾省*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 高频 表面 声波 组件 及其 | ||
【权利要求书】：
1.一种高频表面声波组件，包括：
一基板；
一第一缓冲层，形成于该基板的表面；
一第二缓冲层，形成于该第一缓冲层的表面；
一压电层，形成于该第二缓冲层的表面；
一输入转换部；以及
一输出转换部；
其中，该输入转换部与该输出转换部是成对地设置于该压电层的表 面；该第二缓冲层的材质为氧化铝，该第二缓冲层的厚度介于0.5μm至 20μm之间。
2.如权利要求1所述的高频表面声波组件，其中，该基板为一硅基板。
3.如权利要求1所述的高频表面声波组件，其中，该第一缓冲层的材 质为氧化硅。
4.如权利要求1所述的高频表面声波组件，其中，该第一缓冲层的厚 度介于0.05μm至0.2μm之间。
5.如权利要求1所述的高频表面声波组件，其中，该第二缓冲层是以 电子束蒸镀的方式形成于该第一缓冲层的表面。
6.如权利要求1所述的高频表面声波组件，其中，该压电层的材质包 含氧化锌、氮化铝、铌酸锂或钽酸锂。
7.如权利要求1所述的高频表面声波组件，其中，该输入转换部及该 输出转换部分别为一交指状电极。
8.如权利要求1所述的高频表面声波组件，其中，该输入转换部及 该输出转换部的材质为铝。
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