[发明专利]显影机有效
| 申请号: | 200810142415.7 | 申请日: | 2008-08-12 |
| 公开(公告)号: | CN101515121A | 公开(公告)日: | 2009-08-26 |
| 发明(设计)人: | 尚峰;余廷义 | 申请(专利权)人: | 深圳深爱半导体有限公司 |
| 主分类号: | G03F7/30 | 分类号: | G03F7/30;H01L21/00 |
| 代理公司: | 广州华进联合专利商标代理有限公司 | 代理人: | 郑小粤 |
| 地址: | 518029广东省深*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | 本发明公开了一种显影机,该显影机上设有一可对喷嘴的气体延时的控制装置。本发明延时一段时间后停下,在喷液同时,时间继电器动作,控制一电磁阀打开气体,喷液停止后延时关闭气体。由于时间继电器的延时可调,可以根据程序变化而变化,从而使喷头喷液效果达到最佳。不但投入成本不大,而且解决已有的问题,提高产品的质量及合格率。 | ||
| 搜索关键词: | 显影 | ||
【主权项】:
1、一种显影机,其特征在于,该显影机上设有一可对喷嘴的气体延时的控制装置。
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