[发明专利]显影机有效

专利信息
申请号: 200810142415.7 申请日: 2008-08-12
公开(公告)号: CN101515121A 公开(公告)日: 2009-08-26
发明(设计)人: 尚峰;余廷义 申请(专利权)人: 深圳深爱半导体有限公司
主分类号: G03F7/30 分类号: G03F7/30;H01L21/00
代理公司: 广州华进联合专利商标代理有限公司 代理人: 郑小粤
地址: 518029广东省深*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明公开了一种显影机,该显影机上设有一可对喷嘴的气体延时的控制装置。本发明延时一段时间后停下,在喷液同时,时间继电器动作,控制一电磁阀打开气体,喷液停止后延时关闭气体。由于时间继电器的延时可调,可以根据程序变化而变化,从而使喷头喷液效果达到最佳。不但投入成本不大,而且解决已有的问题,提高产品的质量及合格率。
搜索关键词: 显影
【主权项】:
1、一种显影机,其特征在于,该显影机上设有一可对喷嘴的气体延时的控制装置。
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