[发明专利]显影机有效
| 申请号： | 200810142415.7 | 申请日： | 2008-08-12 |
| 公开（公告）号： | CN101515121A | 公开（公告）日： | 2009-08-26 |
| 发明（设计）人： | 尚峰;余廷义 | 申请（专利权）人： | 深圳深爱半导体有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/30 | 分类号： | G03F7/30;H01L21/00 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 | 代理人： | 郑小粤 |
| 地址： | 518029广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 显影 | ||
【权利要求书】：
1.一种显影机，其特征在于，该显影机上设有控制装置，该控制装置对流入喷嘴的气体进行延时控制；该喷嘴用于喷射显影液或漂洗液，该喷嘴与硅片的距离是大于等于5cm；
该控制装置包括延时继电器和控制气体流入喷嘴的电磁阀，该延时继电器与电磁阀相连，并控制该电磁阀开启或关闭；在喷液同时，该延时继电器动作，控制一电磁阀打开气体，喷液停止后延时关闭气体。
2.根据权利要求1所述的显影机，其特征在于，该延时继电器上设有常开开关与该电磁阀相连。
3.根据权利要求1所述的显影机，其特征在于，该延时继电器的数量为六个。
4.根据权利要求1所述的显影机，其特征在于，该电磁阀的数量为六个。
5.根据权利要求1所述的显影机，其特征在于，该气体为氮气。
6.根据权利要求5所述的显影机，其特征在于，该氮气的压力为137.9千帕。
7.根据权利要求1所述的显影机，其特征在于，该延时继电器延时时间为4至6秒。
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