[发明专利]硅烷气体的生产方法无效
申请号: | 200810137384.6 | 申请日: | 2008-10-24 |
公开(公告)号: | CN101391774A | 公开(公告)日: | 2009-03-25 |
发明(设计)人: | 王少志 | 申请(专利权)人: | 王少志 |
主分类号: | C01B33/04 | 分类号: | C01B33/04 |
代理公司: | 哈尔滨市松花江专利商标事务所 | 代理人: | 金永焕 |
地址: | 150090黑龙江*** | 国省代码: | 黑龙江;23 |
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摘要: | 硅烷气体的生产方法,它涉及一种气体的生产方法。它解决了现有生产硅烷气体的方法中存在产品纯度低、收率低及方法不能满足工业化生产的需要的问题。方法:1.称取硅粉、镁粉和氯化铵;2.将硅粉与镁粉混合反应后得硅化镁;3.将称取的氯化铵与硅化镁在以液氨为介质的反应器中混合反应,所得反应物经分子筛吸附及深度冷却提纯后即得硅烷气体。本发明中所得硅烷气体的纯度为99.99%,收率达95%以上,且方法满足工业化生产需要。 | ||
搜索关键词: | 硅烷 气体 生产 方法 | ||
【主权项】:
1、硅烷气体的生产方法,其特征在于硅烷气体的生产方法按以下步骤实现:一、按重量份数比称取1份的硅粉、1~1.5份的镁粉和1.5~2份的氯化铵;二、将称取的硅粉与镁粉混合,然后置于温度为400~600℃、真空度为500~600Pa的条件下反应2~4h,得硅化镁;三、将称取的氯化铵与硅化镁在以液氨为介质的反应器中混合,在-50~-100℃的条件下反应4~6h,所得反应物经3A分子筛吸附及深度冷却提纯后即得硅烷气体;其中步骤三中深度冷却提纯采用液氮冷却蒸馏装置。
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