[发明专利]硅烷气体的生产方法无效
| 申请号： | 200810137384.6 | 申请日： | 2008-10-24 |
| 公开（公告）号： | CN101391774A | 公开（公告）日： | 2009-03-25 |
| 发明（设计）人： | 王少志 | 申请（专利权）人： | 王少志 |
| 主分类号： | C01B33/04 | 分类号： | C01B33/04 |
| 代理公司： | 哈尔滨市松花江专利商标事务所 | 代理人： | 金永焕 |
| 地址： | 150090黑龙江*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 硅烷 气体 生产 方法 | ||
【权利要求书】：
1、硅烷气体的生产方法，其特征在于硅烷气体的生产方法按以下步骤实现：一、按重量份数比称取1份的硅粉、1～1.5份的镁粉和1.5～2份的氯化铵；二、将称取的硅粉与镁粉混合，然后置于温度为400～600℃、真空度为500～600Pa的条件下反应2～4h，得硅化镁；三、将称取的氯化铵与硅化镁在以液氨为介质的反应器中混合，在-50～-100℃的条件下反应4～6h，所得反应物经3A分子筛吸附及深度冷却提纯后即得硅烷气体；其中步骤三中深度冷却提纯采用液氮冷却蒸馏装置。
2、根据权利要求1所述的硅烷气体的生产方法，其特征在于步骤一中按重量份数比称取1份的硅粉、1.2份的镁粉和1.8份的氯化铵。
3、根据权利要求1所述的硅烷气体的生产方法，其特征在于步骤二中置于温度为500℃、真空度为550Pa的条件下反应3h。
4、根据权利要求1所述的硅烷气体的生产方法，其特征在于步骤三中在-80℃的条件下反应5h。
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