[发明专利]测试电子装置用电接触元件的制造方法及电接触元件无效
| 申请号： | 200810135529.9 | 申请日： | 2002-11-08 |
| 公开（公告）号： | CN101354405A | 公开（公告）日： | 2009-01-28 |
| 发明（设计）人： | 李亿基 | 申请（专利权）人： | 飞而康公司;李亿基 |
| 主分类号： | G01R1/067 | 分类号： | G01R1/067;G01R1/073;G01R3/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人： | 蔡胜有;刘继富 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于测试电子装置的电接触元件的生产方法以及一种通过形成具有尖端部分和横梁部分的电接触元件来生产的电接触元件。该方法包括限定沟槽之后，在该沟槽中进行一次或多次各向异性蚀刻，从而增加沟槽的深度，并使沟槽的内表面变得圆滑。该电接触元件包括横梁部分和尖端部分。其中横梁部分具有多阶梯构形，包括宽度逐级增加的三个条形部分，其每个部分通过凸起以另一端与电子元件相连；并且尖端部分与横梁部分中第一部分的自由端整体形成。 | ||
| 搜索关键词： | 测试 电子 装置 用电 接触 元件 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用于测试电子装置的电接触元件，包含：横梁部分，其包括第一部分、第二部分和第三部分，第二部分位于第一部分和第三部分之间，并且第三部分与电子元件相连接；和尖端部分，其从横梁部分的第一部分伸出，其中所述尖端部分包含连接横梁部分的第一部分的近端部分、从近端部分向背离所述近端部分的方向延伸的远端部分和从近端部分的侧壁横向延伸的凸出部分。
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