[发明专利]测试电子装置用电接触元件的制造方法及电接触元件

权利要求书

1.一种用于测试电子装置的电接触元件，包含：

横梁部分，其包括第一部分、第二部分和第三部分，第二部分位于第一部分和第 三部分之间，并且第三部分与电子元件相连接；和

尖端部分，其从横梁部分的第一部分伸出，其中所述尖端部分包含连接横梁部分 的第一部分的近端部分、从近端部分向背离所述近端部分的方向延伸的远端部分和从 近端部分的侧壁横向延伸的凸出部分，其中当所述尖端部分通过恒定物理作用力与半 导体芯片基座接触时，所述凸出部分能够将施加在所述尖端部分的近端部分上的应力 分散。

2.如权利要求1所述的电接触元件，其中所述近端部分的侧壁基本垂直于所述横梁 部分和近端部分之间的界面，并且所述凸出部分的侧壁倾斜于所述近端部分的侧壁。

3.如权利要求1所述的电接触元件，其中所述远端部分具有接触目标对象的接触表 面，该接触表面的形状为具有预定斜率的凸表面。

4.如权利要求1所述的电接触元件，其中所述远端部分具有截头多边棱柱形或截头 圆锥形构形和用于接触目标对象的截头表面，该截头表面的形状为具有预定斜率的凸 表面。

5.如权利要求1所述的电接触元件，其中所述第三部分的宽度大于所述第一部分的 宽度。

6.如权利要求1所述的电接触元件，其中所述第二部分包含至少一个弯曲部分。

7.如权利要求6所述的电接触元件，其中所述第二部分之字形弯曲一次或多次。

8.如权利要求6所述的电接触元件，其中所述第二部分包含至少两个弯曲部分，所 述弯曲部分基本相互非平行连接，使得所述第二部分具有之字形构形。

9.如权利要求1所述的电接触元件，其中所述横梁部分的第一、第二和第三部分基 本位于同一平面上，使得所述横梁部分的底表面是平坦的。

10.如权利要求1所述的电接触元件，其中所述尖端部分还包含至少一个另外的凸出 部分，其从近端部分的侧壁横向延伸，其中所述另外的凸出部分与所述凸出部分相连 接并且所述另外的凸出部分的横截面积小于所述凸出部分的横截面积。

11.如权利要求1所述的电接触元件，其中所述横梁部分通过利用光刻和蚀刻方法将 消耗性衬底图案化成为掩模层而形成。

12.如权利要求1所述的电接触元件，其中所述横梁部分和所述尖端部分的形成方法 包括以下步骤：

在消耗性衬底上形成第一保护图案；

利用所述第一保护图案作为掩模进行蚀刻并形成沟槽；

移除所述第一保护图案；

在所述消耗性衬底上形成第二保护图案，其中所述第二保护图案限定第二开口 区；

在所述第二开口区中沉积导电层，并平坦化所得结构；和

移除所述第二保护图案和所述消耗衬底，从而在所述沟槽中形成所述尖端部分， 在所述第二开口中形成所述横梁部分。

13.如权利要求12所述的电接触元件，其中所述导电层由镍合金形成。

14.一种用于测试电子装置的电接触元件，包含：

横梁部分，其包含第一部分、连接至第一部分的第二部分和在其第一末端处连接 至第二部分的第三部分，所述第三部分在其第二末端处连接至电子元件；和

尖端部分，其与横梁部分的第一部分相连接，其中所述尖端部分包含连接横梁部 分的第一部分的近端部分、从近端部分向背离所述近端部分的方向延伸的远端部分和 从近端部分的侧壁横向延伸的凸出部分，

其中当所述尖端部分通过恒定物理作用力与半导体芯片基座接触时，所述凸出部 分能够将施加在所述尖端部分的近端部分上的应力分散，并且

其中所述第二部分包含至少一个弯曲部分，并且所述横梁部分的第一、第二和第 三部分基本位于同一平面上，使得所述横梁部分的底表面是平坦的。

15.如权利要求14所述的电接触元件，其中所述第二部分之字形弯曲一次或多次。