[发明专利]喷嘴清洗装置及清洗方法有效
| 申请号： | 200810131348.9 | 申请日： | 2008-08-06 |
| 公开（公告）号： | CN101362123A | 公开（公告）日： | 2009-02-11 |
| 发明（设计）人： | 赵康一 | 申请（专利权）人： | K.C.科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B05B15/02 | 分类号： | B05B15/02 |
| 代理公司： | 北京铭硕知识产权代理有限公司 | 代理人： | 韩明星;金玉兰 |
| 地址： | 韩国京畿*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明公开一种喷嘴清洗装置及清洗方法。所述喷嘴清洗装置包含：中间隔着狭缝喷嘴而相面对布置的一对清洗块，该清洗块具有对应于狭缝喷嘴宽度方向尺寸的长度；移动部件，以用于使相面对布置的所述一对清洗块朝相互接触或隔离的方向进退移动。本发明不仅对向基板上喷射药液的狭缝喷嘴具有清洗功能，而且同时起到在长期不使用狭缝喷嘴时防止狭缝喷嘴的喷口露在外部的密封部件的作用。 | ||
| 搜索关键词： | 喷嘴 清洗 装置 方法 | ||
【主权项】：
1、一种喷嘴清洗装置，该装置包含：中间隔着狭缝喷嘴而相面对布置的一对清洗块，该清洗块具有对应于狭缝喷嘴宽度方向尺寸的长度；移动部件，以用于使相面对布置的所述一对清洗块朝相互接触或隔离的方向进退移动。
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