[发明专利]喷嘴清洗装置及清洗方法

权利要求书

1.一种喷嘴清洗装置，该装置包含：

中间隔着狭缝喷嘴而相面对布置的一对清洗块，该清洗块具有对应于狭缝喷嘴宽度方向尺寸的长度；

移动部件，包括用于使相面对布置的所述一对清洗块朝相互接触或隔离的方向进退移动的传动装置和用于弹性连接所述清洗块与所述传动装置的弹性部件。

2.根据权利要求1所述的喷嘴清洗装置，其特征在于所述清洗块采用具有弹性的橡胶材质制成。

3.根据权利要求2所述的喷嘴清洗装置，其特征在于所述清洗块具有圆形或多边形剖面。

4.根据权利要求2所述的喷嘴清洗装置，其特征在于相面对布置的所述一对清洗块，其相面对的一侧上部呈倾斜状，从而两者相面对接触时，在接触部的上部形成从上到下宽度越变越窄的V形凹槽。

5.根据权利要求1至4的任意一项所述的喷嘴清洗装置，其特征在于还包含清洗所述清洗块的清洗部件。

6.根据权利要求5所述的喷嘴清洗装置，其特征在于所述清洗部件包含：清洗液喷头，以用于向清洗块喷射清洗液；干燥空气喷头，以用于向清洗块喷射干燥空气；

并且所述清洗部件根据运行部件沿着清洗块的长度方向移动的同时对清洗块进行清洗。

7.一种喷嘴清洗方法，该喷嘴清洗方法包含如下步骤：

向基板喷射药液的狭缝喷嘴移动到待机部，并在此位置向下移动到一对清洗块之间；

根据移动部件，相面对的一对清洗块中间隔着向下移动的所述狭缝喷嘴而相互紧贴；

位于相互贴紧的一对清洗块之间的所述狭缝喷嘴上升，从而利用清洗块施加的弹性压力清洗残留在狭缝喷嘴的喷口周围的异物及药液；

狭缝喷嘴上升之后，紧贴在一起的一对清洗块由移动部件相互隔开。

8.根据权利要求7所述的喷嘴清洗方法，其特征在于还包含清洗部件进入到相互隔开的清洗块之间，并对相面对的清洗块一侧进行清洗的步骤。

9.根据权利要求8所述的喷嘴清洗方法，其特征在于对清洗块的清洗作业而言，在所述清洗部件根据运行部件沿着清洗块的长度方向移动的过程中进行向清洗块喷射清洗液的过程和紧接着向清洗块喷射干燥空气的过程。