[发明专利]反力处理装置无效
| 申请号： | 200810131151.5 | 申请日： | 2008-07-30 |
| 公开（公告）号： | CN101359184A | 公开（公告）日： | 2009-02-04 |
| 发明（设计）人： | 细畠拓也 | 申请（专利权）人： | 住友重机械工业株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H01L21/683;H01L21/67;G12B5/00 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 陈萍 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种反力处理装置，抑制反力处理装置的大型化。反力处理装置为，设置在载物台装置上，处理由于载物台的移动而对定盘产生的反力，该载物台装置具备：具有高度互不相同的多个盘面且隔着减振弹簧设置在基座上的定盘；和分别配设在盘面上并在该盘面上移动的载物台。并且，反力处理装置具备：对定盘施加平衡推力的第1和第2反力处理促动器；和控制推力大小的控制部。在该反力处理装置中，定盘上的平衡推力的作用点高度互不相同，控制部控制平衡推力以使反力作为合力和合力矩而抵消。 | ||
| 搜索关键词： | 处理 装置 | ||
【主权项】：
1.一种反力处理装置，设置在载物台装置上，用于对由于上述载物台的移动而对定盘产生的多个反力进行处理；上述载物台装置具备：上述定盘，具有高度互不相同的多个盘面，并且隔着减振部设置在基座上；和多个载物台，分别配设在上述盘面上并在该盘面上移动；该反力处理装置的特征在于，具备：第1和第2施加装置，对上述定盘分别施加第1和第2力，该第1和第2力用于对上述多个反力进行协作处理；以及控制装置，控制上述第1和第2力的大小；上述定盘上的上述第1和第2力的作用点高度互不相同，上述控制装置控制上述第1和第2力，以使上述多个反力作为合力以及合力矩而抵消。
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