[发明专利]反力处理装置

权利要求书

1.一种反力处理装置，设置在载物台装置上，用于对由于载物台的移动而对定盘产生的多个反力进行处理；上述载物台装置具备：上述定盘，具有高度互不相同的多个盘面，并且隔着减振部设置在基座上；和多个上述载物台，分别配设在上述盘面上并在该盘面上移动；该反力处理装置的特征在于，具备：

第1和第2施加装置，对上述定盘分别施加第1和第2力，该第1和第2力用于对上述多个反力进行协作处理；以及

控制装置，控制上述第1和第2力的大小；

上述定盘上的上述第1和第2力的作用点高度互不相同，

上述控制装置控制上述第1和第2力，以使上述多个反力作为合力以及合力矩而抵消。

2.如权利要求1所述的反力处理装置，其特征在于，

上述第1和第2施加装置以被上述定盘覆盖的方式设置在该定盘的盘面和上述基座之间。

3.如权利要求2所述的反力处理装置，其特征在于，

上述第1和第2施加装置中的至少1个设置在上述定盘的底面和上述基座之间。

4.一种反力处理装置，被设置在载物台装置上，用于对由于载物台的移动而对定盘产生的多个反力进行处理；上述载物台装置具备：具有高度不同的多个盘面的上述定盘、和在上述盘面上移动的多个上述载物台；该反力处理装置的特征在于，具备：

第1和第2促动器，对上述定盘分别施加第1和第2力；以及

控制装置，控制上述第1和第2力的大小；

上述定盘上的上述第1和第2力的作用点高度互不相同，

上述控制装置，将上述多个反力以及上述第1和第2力运算为与上述载物台装置的重心相关的力，根据该运算结果处理上述多个反力。

5.如权利要求4所述的反力处理装置，其特征在于，

上述控制装置具有控制器，该控制器进行如下两者的控制：上述载物台的驱动控制、以及上述第1和第2促动器的控制，

根据用于上述载物台的驱动控制的驱动指令算出上述第1和第2促动器的推力。