[发明专利]压电振子及其制造方法以及压电振子用盖无效

专利信息
申请号: 200810128618.0 申请日: 2008-06-19
公开(公告)号: CN101330282A 公开(公告)日: 2008-12-24
发明(设计)人: 石川贺津雄;原明稔;利根川幸弘 申请(专利权)人: 爱普生拓优科梦株式会社
主分类号: H03H9/02 分类号: H03H9/02;H03H9/10;H03H3/02
代理公司: 北京三友知识产权代理有限公司 代理人: 黄纶伟
地址: 日本东京*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 一种压电振子及其制造方法以及压电振子用盖。本发明的目的是提供具有难以破损的光透射性窗部件的压电振子用盖。压电振动片具有振动臂和形成在振动臂上的第1及第2金属膜。压电振子用盖具有:具备贯通孔的框体;具备平行的上表面及下表面并位于贯通孔中的光透射性部件,光透射性部件的下表面配置成与第2金属膜相向。贯通孔在表面及背面的至少一方的开口端部,具有通过曲面与表面或背面连接的曲面内壁面,在框体的厚度方向上的一部分具有与表面及背面垂直的垂直内壁面。光透射性部件与垂直内壁面的至少一部分和曲面内壁面的至少一部分紧密接触。
搜索关键词: 压电 及其 制造 方法 以及 振子用盖
【主权项】:
1.一种压电振子,其特征在于,该压电振子具有:压电振动片,其具有振动臂和形成于上述振动臂上的金属膜;封装,其包括固定有上述压电振动片的底部和包围上述底部的框壁部,并在上述底部的上方具有开口;以及盖,其具有框体和光透射性部件,上述框体具备贯通表面及背面的贯通孔,上述光透射性部件位于上述贯通孔中且具备上表面及下表面,上述光透射性部件的上述下表面配置成与上述金属膜相向,上述盖与上述底部及上述框壁部交叠,堵住上述封装的上述开口,在上述表面及上述背面的至少一方的开口端部,上述贯通孔具有通过曲面与上述表面或上述背面连接的曲面内壁面,在上述框体的厚度方向上的一部分上,上述贯通孔具有与上述表面及上述背面垂直的垂直内壁面,上述光透射性部件与上述垂直内壁面的至少一部分以及上述曲面内壁面的至少一部分紧密接触。
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