[发明专利]压电振子及其制造方法以及压电振子用盖

权利要求书

1.一种压电振子，其特征在于，该压电振子具有：

压电振动片，其具有振动臂和形成于上述振动臂上的金属膜；

封装，其包括固定有上述压电振动片的底部和包围上述底部的框壁部，并在上述底部的上方具有开口；以及

盖，其具有框体和光透射性部件，上述框体具备贯通表面及背面的贯通孔，上述光透射性部件位于上述贯通孔中且具备上表面及下表面，上述光透射性部件的上述下表面配置成与上述金属膜相向，上述盖与上述底部及上述框壁部交叠，堵住上述封装的上述开口，

在上述表面及上述背面的至少一方的开口端部，上述贯通孔具有通过曲面与上述表面或上述背面连接的曲面内壁面，在上述框体的厚度方向上的一部分上，上述贯通孔具有与上述表面及上述背面垂直的垂直内壁面，

上述光透射性部件与上述垂直内壁面的至少一部分以及上述曲面内壁面的至少一部分紧密接触。

2.根据权利要求1所述的压电振子，其特征在于，

上述曲面内壁面具有通过曲面与上述表面连接的第1曲面内壁面和通过曲面与上述背面连接的第2曲面内壁面，

上述第1曲面内壁面的曲率半径大于上述第2曲面内壁面的曲率半径。

3.根据权利要求1或2所述的压电振子，其特征在于，

上述光透射性部件的上述上表面及上述下表面的至少一方与上述盖的上述表面或上述背面处于同一平面。

4.根据权利要求1或2所述的压电振子，其特征在于，

上述光透射性部件的上述上表面及上述下表面的至少一方从上述盖的上述表面或上述背面突出。

5.根据权利要求1或2所述的压电振子，其特征在于，

上述贯通孔呈圆形的开口形状。

6.根据权利要求1或2所述的压电振子，其特征在于，

在上述金属膜上形成有通过激光光束形成的孔。

7.一种压电振子用盖，其与固定压电振动片的封装交叠以便堵住上述封装的开口，其特征在于，该压电振子用盖具有：

框体，其具有贯通表面及背面的贯通孔；以及

光透射性部件，其具有上表面及下表面，并以上述上表面朝向与上述表面相同的方向且上述下表面朝向与上述背面相同的方向的方式位于上述贯通孔中，

在上述表面及上述背面的至少一方的开口端部，上述贯通孔具有通过曲面与上述表面或上述背面连接的曲面内壁面，在上述框体的厚度方向上的一部分上，上述贯通孔具有与上述表面及上述背面垂直的垂直内壁面，

上述光透射性部件与上述垂直内壁面的至少一部分以及上述曲面内壁面的至少一部分紧密接触。

8.根据权利要求7所述的压电振子用盖，其特征在于，

上述曲面内壁面具有通过曲面与上述表面连接的第1曲面内壁面和通过曲面与上述背面连接的第2曲面内壁面，

上述第1曲面内壁面的曲率半径大于上述第2曲面内壁面的曲率半径。

9.根据权利要求7或8所述的压电振子用盖，其特征在于，

上述光透射性部件的上述上表面及上述下表面中的至少一方与上述盖的上述表面或上述背面处于同一平面。

10.根据权利要求7或8所述的压电振子用盖，其特征在于，

上述光透射性部件的上述上表面及上述下表面中的至少一方从上述盖的上述表面或上述背面突出。

11.根据权利要求7或8所述的压电振子用盖，其特征在于，

上述贯通孔呈圆形的开口形状。