[发明专利]压电振子及其制造方法以及压电振子用盖

说明书

技术领域

本发明涉及压电振子及其制造方法以及压电振子用盖。

背景技术

众所周知在封装内固定压电振动片并用盖密封的方案，以及使用设置有在密封后以光学方式可识别内部的窗部件的盖的方案(专利文献1)。在窗部件的安装过程中，在金属框体的开口部配置尺寸比开口部的直径小且厚度比金属框体大的玻璃，用热将其软化后压延，并对从金属框体突出的玻璃进行研磨。这样，研磨时玻璃有破裂的危险。而且，在专利文献1中，金属框体的整个内壁面形成曲面，因此，若对金属框体及玻璃施加相对于厚度方向偏移的力或在对玻璃进行压缩/伸展的方向上的力，则容易应力集中、容易破损。尤其是为了使压电振子扁平化，需要使盖变薄，在该情况下特别容易破损。

专利文献1：日本特开2005-191314号公报

发明内容

本发明的目的在于提供具有难以破损的光透射性窗部件的压电振子用盖。

(1)本发明的压电振子具有：

压电振动片，其具有振动臂和形成于上述振动臂上的金属膜；

封装，其包括固定有上述压电振动片的底部和包围上述底部的框壁部，并在上述底部的上方具有开口；以及

盖，其具有框体和光透射性部件，上述框体具备贯通表面及背面的贯通孔，上述光透射性部件位于上述贯通孔中且具备上表面及下表面，上述光透射性部件的上述下表面配置成与上述金属膜相向，上述盖与上 述底部及上述框壁部交叠，堵住上述封装的上述开口，

在上述表面及上述背面的至少一方的开口端部，上述贯通孔具有通过曲面与上述表面或上述背面连接的曲面内壁面，在上述框体的厚度方向上的一部分上，上述贯通孔具有与上述表面及上述背面垂直的垂直内壁面，

上述光透射性部件与上述垂直内壁面的至少一部分以及上述曲面内壁面的至少一部分紧密接触。根据本发明，由于在贯通孔中存在与表面及背面垂直的垂直内壁面，因此在该部分中，即使对光透射性部件及框体施加相对于厚度方向的力，应力也会分散，所以光透射性部件不易破损。

(2)在该压电振子中，

上述曲面内壁面具有通过曲面与上述表面连接的第1曲面内壁面和通过曲面与上述背面连接的第2曲面内壁面，

上述第1曲面内壁面的曲率半径大于上述第2曲面内壁面的曲率半径。

(3)在该压电振子中，

上述光透射性部件的上述上表面及上述下表面的至少一方与上述盖的上述表面或上述背面处于同一平面。

(4)在该压电振子中，

上述光透射性部件的上述上表面及上述下表面的至少一方从上述盖的上述表面或上述背面突出。

(5)在该压电振子中，

上述贯通孔呈圆形的开口形状。

(6)在该压电振子中，

在上述金属膜上形成有通过激光光束形成的孔。

(7)本发明的压电振子用盖，

是与固定压电振动片的封装交叠以便堵住上述封装的开口的盖，该压电振子用盖具有：

框体，其具有贯通表面及背面的贯通孔；以及

光透射性部件，其具有上表面及下表面，并以上述上表面朝向与上述表面相同的方向且上述下表面朝向与上述背面相同的方向的方式位于上述贯通孔中，

在上述表面及上述背面的至少一方的开口端部，上述贯通孔具有通过曲面与上述表面或上述背面连接的曲面内壁面，在上述框体的厚度方向上的一部分上，上述贯通孔具有与上述表面及上述背面垂直的垂直内壁面，

上述光透射性部件与上述垂直内壁面的至少一部分以及上述曲面内壁面的至少一部分紧密接触。根据本发明，由于在贯通孔中存在与表面及背面垂直的垂直内壁面，因此在该部分中，即使对光透射性部件及框体施加相对于厚度方向的力，应力也会分散，所以光透射性部件不易破损。

(8)在该压电振子用盖中，

上述曲面内壁面具有通过曲面与上述表面连接的第1曲面内壁面和通过曲面与上述背面连接的第2曲面内壁面，

上述第1曲面内壁面的曲率半径大于上述第2曲面内壁面的曲率半径。

(9)在该压电振子用盖中，

上述光透射性部件的上述上表面及上述下表面的至少一方与上述盖的上述表面或上述背面处于同一平面。

(10)在该压电振子用盖中，

上述光透射性部件的上述上表面及上述下表面中的至少一方从上述盖的上述表面或上述背面突出。

(11)在该压电振子用盖中，

上述贯通孔呈圆形的开口形状。

(12)本发明的压电振子的制造方法包括以下工序：