[发明专利]热式流量计

摘要

本发明提供一种热式流量计，在隔膜部(2)的表面形成发热电阻体(6)，在发热电阻体(6)的两侧(空气流上下游侧)形成温度差传感器(9～12)。温度传感器(9、10)配置在发热电阻体(6)的上游侧，温度差传感器(11、12)配置在发热电阻体(6)的下游侧，在温度差传感器(9～12)的两侧形成加热温度传感器(8a、8b)。加热温度传感器(8a、8b)的温度被控制为比空气流的温度高固定温度，因此即使在传感器元件(1)付着有污损物的情况下，加热温度传感器(8a、8b)的温度也保持固定，检测流量的温度差传感器(10、12)位于加热温度传感器(8a、8b)的内侧，因此温度变化变小，抑制特性变动，能够长期地将测量精度维持为较高。从而，能够以简单的结构实现抑制污损物的附着所引起的特性变动，能长期地将测量精度维持为较高的热式流量计。

主权项

1.一种热式流量计，在基板上形成薄膜部，在该薄膜部配置发热电阻体来测量被计测流体的流量，具备：在上述发热电阻体的上述计测流体的流动方向上游侧配置的第1温度差传感器以及在上述发热电阻体的上述计测流体的流动方向下游侧配置的第2温度差传感器；在上述第1温度差传感器的上游侧配置的第1加热温度传感器以及在上述第2温度差传感器的下游侧配置的第2加热温度传感器；加热控制机构，其按照上述第1加热温度传感器以及第2加热温度传感器的平均温度成为规定的温度的方式，基于上述第1加热温度传感器以及第2加热温度传感器所检测的温度变化，控制对上述发热电阻体供给的加热电流；和检测机构，其根据上述第1温度差传感器和上述第2温度差传感器之间的检测温度差，测量上述被计测流体的流量。