[发明专利]热式流量计

权利要求书

1.一种热式流量计，在基板上形成薄膜部，在该薄膜部配置发热电阻 体来测量被计测流体的流量，具备：

在上述发热电阻体的上述计测流体的流动方向上游侧配置的第1温度 差传感器以及在上述发热电阻体的上述计测流体的流动方向下游侧配置 的第2温度差传感器；

在上述第1温度差传感器的上游侧配置的第1加热温度传感器以及在 上述第2温度差传感器的下游侧配置的第2加热温度传感器；

加热控制机构，其按照上述第1加热温度传感器以及第2加热温度传 感器的平均温度成为规定的温度的方式，基于上述第1加热温度传感器以 及第2加热温度传感器所检测的温度变化，控制对上述发热电阻体供给的 加热电流；和

检测机构，其根据上述第1温度差传感器和上述第2温度差传感器之 间的检测温度差，测量上述被计测流体的流量，

在上述薄膜部配置了上述第1及第2温度差传感器和上述第1及第2 加热温度传感器。

2.一种热式流量计，在基板上形成薄膜部，在该薄膜部配置发热电阻 体来测量被计测流体的流量，具备：

在上述发热电阻体的上述计测流体的流动方向上游侧配置的第1加热 温度传感器以及在上述发热电阻体的上述计测流体的流动方向下游侧配 置的第2加热温度传感器；

由第1感温电阻体和第2感温电阻体构成的第1温度差传感器以及由 第3感温电阻体和第4感温电阻体构成的第2温度差传感器，其中，上述 第1感温电阻体和上述第2感温电阻体配置在上述第1加热温度传感器的 上游侧和下游侧，即上述第1感温电阻体和上述第2感温电阻体配置为将 上述第1加热温度传感器夹持在上述第1温度差传感器的两个感温电阻体 之间，并且上述第1温度差传感器配置在上述发热电阻体的上游侧，上述 第3感温电阻体和上述第4感温电阻体配置在上述第2加热温度传感器的 下游侧和上游侧，即上述第3感温电阻体和上述第4感温电阻体配置为将 上述第2加热温度传感器夹持在上述第2温度差传感器的两个感温电阻体 之间，并且上述第2温度差传感器配置在上述发热电阻体的下游侧；

加热控制机构，其按照上述第1加热温度传感器的检测温度以及第2 加热温度传感器的检测温度的平均温度成为规定的温度的方式，基于上述 第1加热温度传感器以及第2加热温度传感器的检测温度变化，控制对上 述发热电阻体供给的加热电流；和

检测机构，其根据上述第1温度差传感器的检测温度和上述第2温度 差传感器的检测温度之差，测量上述被计测流体的流量。

3.一种热式流量计，在基板上形成薄膜部，在该薄膜部配置发热电阻 体来测量被计测流体的流量，具备：

在上述发热电阻体的上述计测流体的流动方向上游侧配置的第1温度 差传感器、以及在上述发热电阻体的上述计测流体的流动方向下游侧配置 的第2温度差传感器；

在上述第1温度差传感器的上部介由绝缘膜配置的第1加热温度传感 器、以及在上述第2温度差传感器的上部介由绝缘膜配置的第2加热温度 传感器；

加热控制机构，其按照上述第1加热温度传感器的检测温度以及第2 加热温度传感器的检测温度的平均温度成为规定的温度的方式，基于上述 第1加热温度传感器以及第2加热温度传感器的检测温度变化，控制对上 述发热电阻体供给的加热电流；和

检测机构，其根据上述第1温度差传感器和上述第2温度差传感器之 间的检测温度差，测量上述被计测流体的流量。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的热式流量计，其特征在于，

上述第1温度差传感器具有第1感温电阻体以及第2感温电阻体，

上述第2温度差传感器具有第3感温电阻体以及第4感温电阻体，

上述检测机构具有桥式电路，根据该桥式电路的差动电压来检测流体 的流量，上述桥式电路是将上述第2感温电阻体和第4感温电阻体的串联 电路、与上述第1感温电阻体和第3感温电阻体的串联电路互相并联连接 而构成的。