[发明专利]热式流量计

说明书

技术领域

本发明涉及在基板上形成发热电阻体来测定规定的流量的热式流量计。 

背景技术

例如作为检测汽车的内燃机的吸入空气量的流量传感器，能够直接测量质量流量的热式的空气流量传感器成为主流。 

近年来，提出了在硅(Si)等的半导体基板上采用微型机械(micromachine)技术来制造热式流量计的传感器元件的方案。这种半导体类型的热式流量计在形成于半导体基板的数微米的薄膜部上形成发热电阻体。由于为薄膜，因此热容量小，且能够高速响应/低电力驱动。 

此外，通过微细加工检测发热电阻体的上下游的温度差，能够容易形成判断順流/逆流的构造。 

作为上述类型的热式流量计的例子，有记载在专利文献1、专利文献2中的方案。 

专利文献1：专利第3342926号公报 

专利文献2：特开2006-200991号公报 

但是，在例如汽车用内燃机的吸入空气流量的检测中采用热式流量计时，吸入空气中的油或粉尘等的污损物与传感器元件相撞并付着在其上，而产生测量误差。尤其，污损物在具有物体的表面温度从低温变为高温的温度斜度的情况下较多地付着。 

如现有技术那样，在基板上形成薄膜部而在薄膜部上形成发热电阻体，通过感温电阻体等检测发热电阻体的上下游的温度差的装置的情况下，在薄膜部周边的附近付着有污损物时，由于检测发热电阻体的上下游的温度的感温电阻体的温度降低，因此传感器元件的特性变动产生。 

但是，在现有技术中，不对由于污损物的付着而引起传感器元件的特性变动进行考虑，而成为热式流量计的测量精度提高化的一阻害主要原因。

发明内容

本发明的目的在于以简单的结构来实现抑制污损物的付着所引起的特性变动，能长期地将测量精度维持为较高的热式流量计。 

为了实现上述目的，本发明如下那样构成。 

一种热式流量计，测量被计测流体的流量，具备：在发热电阻体的计测流体的流动方向上游侧配置的第1温度差传感器以及在发热电阻体的计测流体的流动方向下游侧配置的第2温度差传感器；在上述第1温度差传感器的上游侧配置的第1加热温度传感器以及在上述第2温度差传感器的下游侧配置的第2加热温度传感器；加热控制机构，其按照上述第1加热温度传感器以及第2加热温度传感器的平均温度成为规定的温度的方式，基于上述第1加热温度传感器以及第2加热温度传感器所检测的温度变化，控制对上述发热电阻体供给的加热电流；和检测机构，其根据第1温度差传感器和第2温度差传感器之间的检测温度差，测量上述被计测流体的流量，在上述薄膜部配置了上述第1及第2温度差传感器和上述第1及第2加热温度传感器。 

此外，一种测量被计测流体的流量的热式流量计，具备：在发热电阻体的计测流体的流动方向上游侧配置的第1加热温度传感器以及在发热电阻体的计测流体的流动方向下游侧配置的第2加热温度传感器；由第1感温电阻体和第2感温电阻体构成的第1温度差传感器以及由第3感温电阻体和第4感温电阻体构成的第2温度差传感器，其中，第1感温电阻体和第2感温电阻体配置在第1加热温度传感器的上游侧和下游侧，即第1感温电阻体和第2感温电阻体配置为将第1加热温度传感器夹持在第1温度差传感器的两个感温电阻体之间，且第1温度差传感器配置在发热电阻体的上游侧，第3感温电阻体和第4感温电阻体配置在第2加热温度传感器的下游侧和上游侧，即第3感温电阻体和第4感温电阻体配置为将第2加热温度传感器夹持在第2温度差传感器的两个感温电阻体之间，且第2温度差传感器配置在发热电阻体的下游侧；加热控制机构，其按照第1加热温度传感器的检测温度以及第2加热温度传感器的检测温度的平均温度成为规定的温度的方式，基于上述第1加热温度传感器以及第2加热温度传 感器的检测温度变化，控制对发热电阻体供给的加热电流；和检测机构，其根据第1温度差传感器的检测温度和第2温度差传感器的检测温度之差，测量被计测流体的流量。