[发明专利]探针单元以及检查装置无效
| 申请号： | 200810090199.6 | 申请日： | 2008-04-17 |
| 公开（公告）号： | CN101290329A | 公开（公告）日： | 2008-10-22 |
| 发明（设计）人： | 小山内康晃;三浦一佳;齐藤裕树;福士俊雄 | 申请（专利权）人： | 日本麦可罗尼克斯股份有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/067 | 分类号： | G01R1/067;G01R1/073;G01R31/00;H01L21/66;G02F1/13 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所 | 代理人： | 刘新宇;张会华 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种探针单元以及检查装置，可以安全且由一人进行更换探针单元的操作。该探针单元具备：固定在主体侧的探针台、具有直接与液晶面板等检查对象板的电极相接触的探针的探针组合体、在被上述探针台支承的状态下支承上述探针组合体的探针基座，上述探针基座具备：一个基准板部、一个或两个以上的调整板部、设于上述基准板部和调整板部之间以及各调整板部之间用于调整各调整板部位置的位置调整机构。上述基准板部不能错动地安装在上述探针台的特定位置上，上述调整板部以可错动的状态安装于上述探针台上。 | ||
| 搜索关键词： | 探针 单元 以及 检查 装置 | ||
【主权项】：
1.一种探针单元，其特征在于，该探针单元具备：固定在主体侧的探针台、具有直接与检查对象板电极相接触的探针的探针组合体、在被上述探针台支承的状态下支承上述探针组合体的探针基座；上述探针基座具备：一个基准板部、一个或两个以上的调整板部、设于上述基准板部和调整板部之间以及各调整板部之间用于调整各调整板部位置的位置调整机构。
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