[发明专利]探针单元以及检查装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种检查液晶面板等检查对象板所使用的探针单元以及检查装置。

背景技术

例如，在液晶面板的制造工序中，要对封装了液晶的液晶面板是否具有说明书所述的性能进行检查(试验)。通常，在该检查中使用具备具有多个探针的探针单元的检查装置。此时，将检查装置的各探针按压在液晶面板的电极上，在该状态下，通过向规定电极供给规定的电信号来进行检查。

图2表示这样的检查装置的一个例子。图示的检查装置1主要由面板安置部2和测定部3构成。

面板安置部2向测定部3输送从外部插入的液晶面板等检查对象板5，并将完成检查后的检查对象板5输送到外部。面板安置部2在其开口部6内具有面板载放台7，用该面板载放台7支承检查对象板5，而将其输送到测定部3。另外，面板安置部7接收由测定部3完成检查后的检查对象板5，而将其输送到外部。

测定部3用于支承从面板安置部2输送来的检查对象板5并进行试验。测定部3具备夹具8和探针9等。

夹具8是用于支承检查对象板5的构件。该夹具8由XYZθ台(未图示)支承，从而使夹具8的沿XYZ轴向移动以及转动受到控制，从而调整检查对象板5的位置。探针9主要具备基座板10、探针单元11。探针单元11以面对基座板10的开口10A的状态被基座板10支承。

专利文献1公开了探针单元11的一个例子。该例子示于图3。该探针单元11主要具备探针基座12、由该探针基座12支承的探针组合体13。

上述探针基座12是一体地支承多个探针组合体13的板材。多个探针组合体13以面对液晶面板等检查对象板5的状态被该探针基座12支承。

在框架14上设有使探针单元11移动来调整位置的移动机构15。该移动机构15由丝杠螺母16、移动体(未图示)、丝杠17、电动机18和托架19构成。丝杠螺母16安装在移动体上，并与丝杠17螺合。利用电动机18使丝杠17旋转，从而使移动体沿X边方向移动。利用托架19将电动机18安装到框架14上。

专利文献1：日本特开2001-74778号公报

但是，在上述检查装置1中，伴随更换检查对象板5品种，也要更换探针单元11。例如，对液晶面板进行检测时，要将探针单元11更换为适合新品种液晶面板尺寸的探针单元。

在液晶面板尺寸小时，更换该探针单元11没什么问题。在液晶面板的尺寸小时，探针单元11的尺寸也小且重量轻，因此，不会给更换探针单元11的操作带来困难。安装上探针单元11，然后驱动移动机构15的电动机18，使丝杠17转动而使丝杠螺母16移动，从而通过移动体调整探针单元11的位置。由此，便可以容易地更换探针单元11。

但是，当液晶面板的尺寸变大时，探针单元11的尺寸也变大且重量变重，因此，会给更换探针单元11的操作带来难度。

例如，对于52英寸级的液晶面板，数据侧的探针单元11的长度为1650mm，重量约为35kg，仅由一名操作人员就不能更换探针单元11了。即，存在下述问题：更换作业危险且需要两人操作，效率低。

发明内容

本发明是为了解决上述问题而作出的，其目的在于，提供一种更换操作安全且可由一人操作的探针单元以及检查装置。

为了解决上述课题，本发明的探针单元的特征在于，其具备：固定在主体侧的探针台、具有直接与检查对象板电极相接触的探针的探针组合体、在被上述探针台支承的状态下支承上述探针组合体的探针基座，上述探针基座具备：一个基准板部、一个或两个以上的调整板部、设于这些基准板部和调整板部之间以及各调整板部之间用于调整各调整板部位置的位置调整机构。

这样一来，首先安装上述探针基座的基准板部，再一边用位置调整机构调整一个或两个以上的调整板部的位置，一边安装这些调整板部。