[发明专利]探针单元以及检查装置

权利要求书

1.一种探针单元，其特征在于，该探针单元具备：

固定在主体侧的探针台、具有直接与检查对象板电极相接触的探针的探针组合体、在被上述探针台支承的状态下支承上述探针组合体的探针基座；

上述探针基座具备：一个基准板部、一个或两个以上的调整板部、设于上述基准板部和调整板部之间以及各调整板部之间用于调整各调整板部位置的位置调整机构。

2.根据权利要求1所述的探针单元，其特征在于，

上述探针基座的基准板部不能错动地安装于上探针台的特定位置上，上述调整板部以可错动的状态安装于上述探针台上。

3.根据权利要求2所述的探针单元，其特征在于，

上述探针基座的基准板部具有直径与固定于上述探针台上的固定用螺栓的直径大致相同的圆孔，上述调整板部具有容许该调整板部相对于上述固定用螺栓错动的长孔。

4.根据权利要求1所述的探针单元，其特征在于，

上述位置调整机构由调整螺栓、调整螺栓保持架和调整块构成，上述调整螺栓用于调整上述探针基座的基准板部和调整板部之间的间隔或者各调整板部之间的间隔；上述调整螺栓保持架设于上述基准板部和调整板部上，或设于各调整板中的一调整板上，该调整螺栓保持架用于支承可相对于其转动的上述调整螺栓；上述调整块设于上述基准板部和调整板部上，或设于各调整板中的另一调整板上，且具有用于旋入上述调整螺栓的螺孔。

5.一种用于检查检查对象板的检查装置，其特征在于，

该检查装置具备面板安置部和测定部，上述面板安置部将检查对象板从外部搬入，并在完成检查后将检查对象板搬送到外部，上述测定部支承从上述面板安置部输送来的检查对象板并进行试验；

上述测定部具有探针单元；

该探针单元具备：固定在主体侧的探针台、具有直接与检查对象板电极相接触的探针的探针组合体、在被上述探针台支承的状态下支承上述探针组合体的探针基座；

上述探针基座具备：一个基准板部、一个或两个以上的调整板部、设于上述基准板部和调整板部之间以及各调整板部之间用于调整各调整板部位置的位置调整机构。

6.根据权利要求5所述的检查装置，其特征在于，

上述探针基座的基准板部不能错动地安装于上探针台的特定位置上，上述调整板部以可错动的状态安装于上述探针台上。

7.根据权利要求6所述的检查装置，其特征在于，

上述探针基座的基准板部具有直径与固定于上述探针台上的固定用螺栓的直径大致相同的圆孔，上述调整板部具有容许该调整板部相对于上述固定用螺栓错动的长孔。

8.根据权利要求5所述的检查装置，其特征在于，

上述位置调整机构由调整螺栓、调整螺栓保持架和调整块构成，上述调整螺栓用于调整上述探针基座的基准板部和调整板部之间的间隔或者各调整板部之间的间隔；上述调整螺栓保持架设于上述基准板部和调整板部上，或设于各调整板中的一调整板上，该调整螺栓保持架用于支承可相对于其转动的上述调整螺栓；上述调整块设于上述基准板部和调整板部上，或设于各调整板中的另一调整板上，且具有用于旋入上述调整螺栓的螺孔。