[发明专利]圆盘状基板的制造方法、清洗装置有效
| 申请号： | 200810082889.7 | 申请日： | 2008-03-11 |
| 公开（公告）号： | CN101266803A | 公开（公告）日： | 2008-09-17 |
| 发明（设计）人： | 羽根田和幸;小林正彦;远山行仲 | 申请（专利权）人： | 昭和电工株式会社;西铁城精密株式会社 |
| 主分类号： | G11B5/84 | 分类号： | G11B5/84;C03C23/00;B08B7/04;B08B1/04;B08B11/04;B08B3/04 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人： | 党晓林;李艳艳 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种圆盘状基板的制造方法、清洗装置，使得能够实现更加稳定的擦洗，制造出颗粒少的良好圆盘状基板。该圆盘状基板的清洗装置在供给清洗液的同时对圆盘状基板(10)的表面进行擦洗，该清洗装置包括：圆筒形的第一多孔质辊子(110a)，其可以与圆盘状基板(10)的第一面接触；圆筒形的第二多孔质辊子(110b)，其可以与圆盘状基板(10)的第二面接触；以及轴间距离变更机构，其使第一多孔质辊子(110a)和第二多孔质辊子(110b)在改变它们的轴间距离的方向即x方向上移动，该轴间距离变更机构使第一多孔质辊子(110a)和第二多孔质辊子(110b)停止在预先设定的轴间位置上，并与圆盘状基板(10)接触。 | ||
| 搜索关键词： | 圆盘 状基板 制造 方法 清洗 装置 | ||
【主权项】：
1、一种圆盘状基板的制造方法，其特征在于，该圆盘状基板的制造方法具有使用被旋转驱动的圆筒形的第一多孔质辊子和第二多孔质辊子分别擦洗圆盘状基板的第一面和第二面的擦洗工序，所述擦洗工序在确定了夹着所述圆盘状基板的所述第一多孔质辊子和所述第二多孔质辊子的轴间距离、并控制了所确定的该轴间距离的状态下进行擦洗。
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