[发明专利]圆盘状基板的制造方法、清洗装置

权利要求书

1.一种圆盘状基板的制造方法，其特征在于，

该圆盘状基板的制造方法具有使用被旋转驱动的圆筒形的第一多孔质辊子和第二多孔质辊子分别擦洗圆盘状基板的第一面和第二面的擦洗工序，

所述擦洗工序在确定了夹着所述圆盘状基板的所述第一多孔质辊子和所述第二多孔质辊子的轴间距离、并控制了所确定的该轴间距离的状态下进行擦洗，

所述第一多孔质辊子和所述第二多孔质辊子在所述圆盘状基板的半径方向上被往复驱动。

2.根据权利要求1所述的圆盘状基板的制造方法，其特征在于，

通过被往复驱动，所述第一多孔质辊子和所述第二多孔质辊子抵接在所述圆盘状基板上的范围是该圆盘状基板的外径与内径之差的1/2。

3.一种清洗装置，该清洗装置在供给清洗液的同时对圆盘状基板的第一面和第二面进行擦洗，其特征在于，

该清洗装置包括：

圆筒形的第一多孔质辊子，其能够与所述圆盘状基板的所述第一面接触；

圆筒形的第二多孔质辊子，其与所述第一多孔质辊子对置设置，并能够与所述圆盘状基板的所述第二面接触；

轴间距离变更机构，其改变所述第一多孔质辊子与所述第二多孔质辊子的轴间距离，使所述第一多孔质辊子和所述第二多孔质辊子以预先确定的轴间距离停止，并使该第一多孔质辊子和该第二多孔质辊子与所述圆盘状基板接触；

旋转机构，该旋转机构使在所述轴间距离变更机构作用下移动并以所述预先确定的轴间距离停止从而与所述圆盘状基板接触的所述第一多孔质辊子和所述第二多孔质辊子旋转；以及

往复移动机构，该往复移动机构使在所述轴间距离变更机构作用下以所述预先确定的轴间距离停止并在所述旋转机构作用下旋转的所述第一多孔质辊子和所述第二多孔质辊子，沿所述圆盘状基板的半径方向往复移动。

4.根据权利要求3所述的清洗装置，其特征在于，

所述往复移动机构使所述第一多孔质辊子和所述第二多孔质辊子往复移动到该第一多孔质辊子和该第二多孔质辊子抵接在所述圆盘状基板上的范围为该圆盘状基板的外径与内径之差的1/2，并多次实施该往复移动。