[发明专利]基于钯－银丝状电极的氢气传感器

摘要

一种基于钯－银丝状电极的氢气传感器，所述氢气传感器中的钯－银丝状电极制备方法，是以氧化铝做底片，采用钯和银作为氢敏材料制备而成。制备步骤包括：氧化铝陶瓷片的预处理、甩光胶、掩膜制作、光刻、镀膜、去除光胶、后处理等步骤，获得钯－银丝状电极。使用本发明的钯－银丝状电极氢气传感器，具有较高的灵敏度，抗干扰能力强，较长的使用寿命，特别适合于室温检测。

主权项

1.一种氢气传感器中的钯-银丝状电极制备方法，是以氧化铝做底片，采用钯和银作为氢敏材料制备而成，步骤如下：●氧化铝陶瓷片的预处理：用王水浸泡清洗后，再用去离子水超声波振荡清洗1分钟，最后在高温炉中500～600℃灼烧30分钟；●甩光胶：陶瓷片先置于真空干燥箱中140℃下干燥脱水30分钟，然后均匀涂上一层光胶；●掩膜制作：计箕机软件设计丝状电极图片，用高分辨率激光照排机在照相底片上制得光刻掩膜；●光刻：汞灯预热15分钟，调节光刻机能量为12mW/cm2，曝光时间为90秒，曝光后的陶瓷片在0.7％wt的NaOH溶液中显影2分钟，除去曝光部分的光胶，使掩膜上的通道图形转移到光胶层上；●镀膜：在处理好的陶瓷基片上，采用真空溅射和电子束真空蒸发镀膜的方法，分别将金属银和钯沉积在陶瓷基片上构成镀膜层，或直接用电子束真空蒸发的方法同时将钯银沉积到陶瓷基片上；●去除光胶：用丙酮除去金属镀膜底层的光胶，超声波振荡15秒，用去离子水清洗，超声波振荡15秒，最后用吹风机吹干，得到钯-银丝状电极；●将银丝和加工好的陶瓷表面的钯-银丝状电极用导电胶粘结好，在60℃加热板上加热7小时，固化，成为氢气传感器中的钯-银丝状电极。