[发明专利]一种集簇设备控制系统和工艺控制系统之间通信的方法有效
| 申请号： | 200810056107.2 | 申请日： | 2008-01-11 |
| 公开（公告）号： | CN101482746A | 公开（公告）日： | 2009-07-15 |
| 发明（设计）人： | 陆涛 | 申请（专利权）人： | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 |
| 主分类号： | G05B19/418 | 分类号： | G05B19/418;H01L21/00 |
| 代理公司： | 北京德琦知识产权代理有限公司 | 代理人： | 王 琦;王诚华 |
| 地址： | 100016北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种集簇设备控制系统和工艺控制系统之间通信的方法，集簇设备控制(CTC)系统向工艺控制系统发送携带有接口信息的操作命令，所述接口信息为工艺控制系统事先设置的针对自身功能模块的信息；工艺控制系统从操作命令中获得接口信息，并根据获得的接口信息对相应功能模块进行操作。应用本发明方案，由于CTC系统不必事先将工艺控制系统中的所有功能模块都进行远程引用，从而在与工艺控制系统进行通信时不必占用CTC系统自身大量的资源，也可以避免运行速度和性能的下降。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 设备 控制系统 工艺 之间 通信 方法 | ||
【主权项】：
1、一种集簇设备控制系统和工艺控制系统之间通信的方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：a、集簇设备控制CTC系统向工艺控制系统发送携带有接口信息的操作命令，所述接口信息为工艺控制系统事先设置的针对自身功能模块的信息；b、工艺控制系统从操作命令中获得接口信息，并根据获得的接口信息对相应功能模块进行操作。
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